SIC Epitaxial Module

Semicorex Sic Epitaxial -modul, udformet af premium -kvalitet, SIC -coated grafit, er en del af epitaksialudstyr, der er udviklet til at modstå de vanskeligste elementer i siliciumcarbid (SIC) epitaxy -processer. Dette modul, der er beregnet til høj temperatur i kemisk dampaflejring (CVD) applikationer, er en vigtig komponent i demonstration af stabilitet og understøttelse af skiver under den epitaksiale vækst af SIC i høj kvalitet. Semicorex Sic -modulet er et effektivt basismateriale til en pålidelig og gentagelig produktion af epitaksialmateriale, der er i overensstemmelse med SIC -specifikationer for kvalitet.

Semicorex Sic -modulet er et grafitsubstrat dækket med et tæt og ensartet lag af siliciumcarbidbelægning og er resistent over for partikelforurening og korrosion, selv i de mest alvorlige proceskemier. SIC -belægningen forbyder kontaminering og erosion af den underliggende grafit og giver betydelig mekanisk støtte og beskyttelse op til 1600 ° C. SIC -modulet kombinerer styrken og bearbejdeligheden af grafit med det samlede slid, korrosion og kemiske resistente egenskaber ved siliciumcarbid, hvilket gør det bedst egnet til modul med hensyn til holdbarhed i en hård epitaksial atmosfære.

Modulet er designet til at tilvejebringe en ensartet termisk profil, mens den minimerer dimensionel ændring gennem den termiske cykelproces. Denne termiske ensartethed og stabilitet er afgørende for at opretholde skivefladhed og epitaxy ensartethed. Hvis skiven opretholder en stabil position med høj termisk ledningsevne, vil de termiske forhold over skiven under forarbejdning være ensartet, hvilket positivt påvirker udbyttet, krystalkvalitet og nedetid relateret til delfejl eller kontaminering.

SIC-epitaksialmodulet er kompatibelt med flere epitaksiale reaktorer, herunder varmvæg og koldvæg og har mulighed for at blive tilpasset til form og dimensioner til at imødekomme specifikke reaktorlayouts og kundebehov. SIC-epitaksialmodulet er velegnet til, men ikke begrænset til, 4-tommer, 6-tommer og nye 8-tommer SIC Epitaxy-applikationer. På grund af den høje renhed og den optimerede geometri af SIC -epitaksialmodulet minimeres fysisk interferens i dens indflydelse på gasstrømningsdynamik og termiske gradienter, der understøtter mere kontrolleret vækst af det epitaksiale lag.

Semicorexs SIC -epitaksiale moduler repræsenterer det højeste kvalitetskontrollerede stykke i den excentriske samling. Ud over de høje kvalitetskontrolprotokoller anvender Semicorex de nyeste belægningsmetoder til at anvende ensartede, tætte og lav-outgassing SIC-film. Semicorex har en lang historie med keramiske belægninger med høj ydeevne og grafitbearbejdning, der identificerer procesfordele, der giver den bedst mulige produktlevetid, konsistens og processtabilitet fra batch til batch.

I det hurtigt udviklende felt af SIC-strømenheder, hvor materialekvalitet direkte påvirker enhedens ydeevne, er det epitaksiale modul ikke kun en forbrugsbar-det er en kritisk aktivering. Den sic coatede grafit-epitaksiale modul fra Semicorex tilbyder en robust, pålidelig løsning for kunder, der søger at skubbe grænserne for effektivitet, udbytte og omkostningseffektivitet i SIC-epitaksi.