Silikone udglødningsbåd

Ultra-høj renhed til uberørte forarbejdningsmiljøer: Semicorex Silicon Annealing Boat, fremstillet af silicium med ultrahøj renhed (op til 13N renhed), minimerer risikoen for kontaminering under højtemperaturbehandling. Denne exceptionelle renhed sikrer, at waferne udsættes for et uberørt miljø, hvilket forhindrer introduktionen af ​​uønskede urenheder, der kan forringe enhedens ydeevne og reducere udbyttet.

Reduceret waferkontakt for minimeret skade:Den glatte, polerede overflade på siliciumglødningsbåden minimerer kontaktpunkter med waferne, hvilket reducerer risikoen for ridser, afslag eller anden mekanisk skade under transport og forarbejdning markant. Denne omhyggelige håndtering bevarer wafernes integritet, forbedrer det samlede procesudbytte og bidrager til enheder af højere kvalitet.

Designs, der kan tilpasses til optimeret ydeevne: Silicon Annealing Boat-designerne kan skræddersyes til at opfylde specifikke proceskrav, herunder variationer i bådens form, længde, vinkel og antallet af waferstøttetænder. Denne tilpasning muliggør optimering af gasstrømningsdynamik, temperaturensartethed og waferafstand i ovnen, hvilket sikrer ensartede og gentagelige behandlingsresultater for en bred vifte af enhedsgeometrier og procesparametre.

Høj polysiliciumaflejringsgrænse for forlænget drift:Siliciumudglødningsbåden udviser en høj tolerance for polysiliciumaflejring, hvilket giver mulighed for forlænget drift, før rengøring eller udskiftning er påkrævet. Denne forlængede levetid reducerer udstyrets nedetid i forbindelse med vedligeholdelse, hvilket bidrager til øget produktionskapacitet og lavere samlede produktionsomkostninger.