Semicorex er din partner til forbedring af halvlederbehandling. Vores siliciumcarbid-belægninger er tætte, høje temperatur- og kemikaliebestandige, som ofte bruges i hele cyklussen af halvlederfremstilling, herunder halvlederwafer- og waferbehandling og halvlederfremstilling.
Højrenhed SiC keramiske komponenter er afgørende for processer i halvlederen. Vores tilbud spænder lige fra forbrugsdele til waferbehandlingsudstyr, såsom siliciumcarbid waferbåd, cantilever-padler, rør osv. til Epitaxy eller MOCVD.
Fordele ved halvlederprocesser
Tyndfilmsaflejringsfaserne såsom epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsbehandling såsom ætsning eller ionimplantat skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring. Semicorex leverer højrent siliciumcarbid (SiC) konstruktion giver overlegen varmebestandighed og holdbar kemisk resistens, selv termisk ensartethed for ensartet epilags tykkelse og modstand.
Kammerlåg →
Kammerlåg, der bruges til krystalvækst og waferhåndtering, skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring.
Cantilever-pagaj →
Cantilever Paddle er en afgørende komponent, der bruges i halvlederfremstillingsprocesser, især i diffusions- eller LPCVD-ovne under processer som diffusion og RTP.
Procesrør →
Process Tube er en afgørende komponent, specielt designet til forskellige halvlederbehandlingsapplikationer såsom RTP, diffusion.
Waferbåde →
Wafer Boat bruges i halvlederbehandling, den er omhyggeligt designet til at sikre, at de sarte wafers holdes sikre under de kritiske stadier af produktionen.
Indløbsringe →
SiC-belagt gasindløbsring af MOCVD-udstyr Sammensatte vækst har høj varme- og korrosionsbestandighed, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flade keramiske vakuum wafer patroner er høj renhed SiC belagt ved brug i wafer håndteringsprocessen.
Semicorex har også keramiske produkter i aluminiumoxid (Al2O3), siliciumnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirconia (ZrO2), kompositkeramik osv.
Semicorex leverer keramik i halvlederkvalitet til dine OEM-semifabrikationsværktøjer og komponenter til håndtering af wafers. Vi har været producent og leverandør af siliciumcarbidbelægningsfilm i mange år. Vores SiC Axle Sleeve har en god prisfordel og dækker de fleste af de europæiske og amerikanske markeder. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselSemicorex avancerede siliciumcarbidbelagte komponenter med høj renhed er bygget til at modstå de ekstreme miljøer i waferhåndteringsprocessen. Vores Semiconductor Wafer Chuck har en god prisfordel og dækker mange af de europæiske og amerikanske markeder. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselSemicorex ultrarene keramiske komponenter, der er perfekte til næste generations litografi og wafer-håndteringsapplikationer, sikrer minimal kontaminering og yder en usædvanlig lang levetid. Vores Wafer Vacuum Chuck har en god prisfordel og dækker mange af de europæiske og amerikanske markeder. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselSemicorex holdbare fokusringe til halvlederbehandling er designet til at modstå de ekstreme miljøer i plasmaætsningskamre, der bruges til halvlederbehandling. Vores fokusringe er lavet af højrent grafit belagt med en tæt, slidbestandig siliciumcarbid (SiC) belægning. SiC-belægningen har høje korrosions- og varmebestandighedsegenskaber samt fremragende varmeledningsevne. Vi påfører SiC i tynde lag på grafitten ved hjælp af den kemiske dampaflejring (CVD) proces for at forbedre levetiden for vores fokusringe.
Læs mereSend forespørgselSemicorex Plasma-behandlingsfokusring er specielt designet til at imødekomme de høje krav til plasmaætsningsbehandling i halvlederindustrien. Vores avancerede siliciumcarbidbelagte komponenter med høj renhed er bygget til at modstå ekstreme miljøer og er velegnede til brug i forskellige applikationer, herunder siliciumcarbidlag og epitaksiske halvledere.
Læs mereSend forespørgselSemicorex avancerede SiC Focus Ringe med høj renhed er bygget til at modstå de ekstreme miljøer i plasmaætsningskamre (eller tørætsningskamre). Vi fokuserer på halvlederindustrier såsom siliciumcarbidlag og epitaksihalvleder. Vores produkter har en god prisfordel og dækker mange af de europæiske og amerikanske markeder. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgsel