SiC reflektor

Semicorex SiC-reflektor er kendt for deres enestående termiske ledningsevne, høje reflektionsevne og uovertrufne holdbarhed, hvilket gør dem uundværlige i halvlederindustrien.

En SiC-reflektor er en specialiseret optisk komponent designet til at reflektere lys og termisk energi i halvlederfremstillingsprocesser. Siliciumcarbid (SiC) er en forbindelse af silicium og kulstof, kendt for sine fremragende fysiske og kemiske egenskaber. Reflekserne fremstillet af SiC er konstrueret til at modstå ekstreme forhold, hvilket gør dem ideelle til applikationer, hvor høje temperaturer, korrosive miljøer og højenergifotoner er til stede.

En af de vigtigste fordele ved SiC-reflektor er deres overlegne varmeledningsevne. SiC-materiale har en termisk ledningsevne, der er flere gange højere end traditionelle materialer som aluminiumoxid (Al2O3) eller kvarts. Denne egenskab giver mulighed for effektiv varmeafledning, forhindrer overophedning og sikrer stabil ydeevne selv under høje temperaturforhold.

SiC-reflektor udviser fremragende reflektionsevne, især i de ultraviolette (UV) og infrarøde (IR) spektre. Denne høje reflektivitet sikrer, at den maksimale mængde lys omdirigeres mod målområdet, hvilket øger effektiviteten af ​​halvlederprocesser såsom fotolitografi, hurtig termisk behandling (RTP) og kemisk dampaflejring (CVD).

Siliciumcarbid er kendt for sin hårdhed og modstandsdygtighed over for slid. SiC-reflektorer er meget holdbare, i stand til at modstå mekaniske belastninger og modstandsdygtige over for kemisk korrosion. Denne holdbarhed oversættes til en længere levetid, hvilket reducerer hyppigheden af ​​udskiftninger og vedligeholdelse og i sidste ende sænker de samlede ejeromkostninger.