Reservedele i epitaksial vækst

Semicorex-reservedele i epitaksial vækst er absolut kritiske, især for processer, der involverer opsætning af kvartsrør. Disse dele er essentielle for at lette gasstrømmen for at drive bakkebasens rotation og sikre præcis temperaturkontrol gennem hele den epitaksiale vækstproces. Semicorex-reservedele i epitaksial vækst, i daglig tale kendt som halvdele, er omhyggeligt konstrueret til at modstå høje temperaturer og korrosive miljøer, der er iboende i epitaksiale vækstkamre. Konstrueret af siliciumcarbid (SiC) tilbyder de enestående termisk og kemisk stabilitet, hvilket gør dem til det ideelle valg til så krævende applikationer. Brugen af ​​SiC sikrer, at disse dele er i stand til at modstå selv de mest udfordrende forhold.

Reservedele i epitaksial vækst ligner formen af ​​en halvmåne, designet til at passe tæt ind i kvartsrørsamlingen. Deres unikke halvmåne-konfiguration gør, at de nemt kan indsættes og fjernes fra systemet, hvilket letter vedligeholdelses- og udskiftningsprocedurer med effektivitet og præcision.

Reservedele i epitaksial vækst tjener flere formål. For det første hjælper de med kontrolleret levering af gasser, der er afgørende for den epitaksiale vækstproces. Ved at regulere gasstrømningshastigheder og -fordeling sikrer de ensartet aflejring af halvledermaterialer på substratoverfladen, hvilket er afgørende for at opnå de ønskede materialeegenskaber og enhedens ydeevne.

Reservedele i epitaksial vækst bidrager til rotationsbevægelsen af ​​bakkebunden i vækstkammeret. Denne rotation er afgørende for at fremme jævn fordeling af aflejrede materialer, hvilket forhindrer dannelsen af ​​uregelmæssigheder eller defekter i de epitaksiale lag.