Susceptor med gitter

Semicorex Susceptor with Grid er en specialiseret komponent, der bruges i den epitaksiale vækstproces af halvlederwafere. Dette kritiske stykke udstyr er designet til at bære og understøtte waferne under afsætningen af ​​materialer i et metal-organisk kemisk dampaflejringssystem (MOCVD). Susceptoren med gitter spiller en central rolle i at sikre ensartet og kontrolleret vækst af epitaksiale lag på halvlederwaferen.

Susceptoren med gitter er konstrueret med materialer, der er optimeret til dens funktion. I dette tilfælde er den lavet af MOCVD SiC (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition Silicon Carbide) coatet grafit. Dette materialevalg giver flere fordele, herunder modstandsdygtighed over for høje temperaturer, kemisk stabilitet og fremragende varmeledningsevne. SiC-belægningen på grafitten forbedrer susceptorens holdbarhed og modstandsdygtighed over for de barske forhold, der opstår under den epitaksiale vækstproces.

Susceptoren med gitterstruktur tjener som en støttemekanisme for halvlederskiverne. Den er strategisk designet til at holde waferne sikkert på plads, samtidig med at den giver mulighed for effektiv strømning af gasser og ensartet aflejring af materialer. Gittermønsteret hjælper med at fordele varme og reaktanter jævnt over waferoverfladen, hvilket bidrager til den præcise kontrol af epitaksial lagtykkelse og sammensætning.

Semicorex Susceptor med Grid er en kritisk komponent i fremstillingsprocessen af ​​avancerede halvlederenheder. Dens robuste konstruktion og specialiserede design gør det til et vigtigt værktøj til at opnå epitaksial vækst af høj kvalitet, hvilket sikrer produktion af halvledere med overlegen ydeevne og pålidelighed.