TaC-belagt Halfmoon

Semicorex TaC-coated Halfmoon bevarer sin strukturelle integritet og kemiske inertitet ved de forhøjede temperaturer (op til 2200°C), der kræves til SiC-epitaksi. Dette sikrer ensartet termisk ydeevne og forhindrer uønskede reaktioner med procesgasser eller kildematerialer. Og den kan konstrueres til at optimere termisk ledningsevne og emissivitet, hvilket fremmer ensartet varmefordeling over susceptoroverfladen. Dette fører til mere homogene wafertemperaturprofiler og forbedret ensartethed i epitaksial lagtykkelse og dopingkoncentration. Desuden kan den TaC-belagte Halfmoons termiske ekspansionskoefficient skræddersyes til tæt at matche SiC, hvilket minimerer termisk stress under opvarmnings- og afkølingscyklusser. Dette reducerer waferbøjning og risikoen for defektdannelse, hvilket bidrager til højere enhedsudbytte.

Den TaC-coatede Halfmoon forlænger levetiden for grafitsusceptorer betydeligt sammenlignet med ucoatede/SiC-coatede alternativer. Den forbedrede modstand mod SiC-aflejring og termisk nedbrydning reducerer hyppigheden af ​​rengøringscyklusser og udskiftning, hvilket sænker de samlede produktionsomkostninger.

Fordele for SiC-enhedsydelse:

Forbedret enheds pålidelighed og ydeevne:Den forbedrede ensartethed og reducerede defekttæthed i epitaksiale lag dyrket på den TaC-coatede Halfmoon oversætter til højere enhedsudbytte og forbedret ydeevne med hensyn til gennembrudsspænding, on-modstand og omskiftningshastighed.

Omkostningseffektiv løsning til højvolumenproduktion:Den forlængede levetid, reducerede vedligeholdelseskrav og forbedrede waferkvalitet bidrager til en mere omkostningseffektiv fremstillingsproces for SiC-energienheder.

Semicorex TaC-coated Halfmoon spiller en afgørende rolle i at fremme SiC-epitaksi ved at løse nøgleudfordringer relateret til materialekompatibilitet, termisk styring og proceskontamination. Dette muliggør produktion af SiC-wafere af højere kvalitet, hvilket fører til mere effektive og pålidelige kraftelektroniske enheder til applikationer i elektriske køretøjer, vedvarende energi og andre krævende industrier.