TaC-belagt frøkrystalholder er en højtydende komponent, der er specielt designet til vækstmiljøet for halvledermaterialer. Som en førende producent af TTaC-belagte frøkrystalholdere tilbyder semicorex dig effektive kernekomponentløsninger inden for avanceret halvlederfremstilling.
Underlaget forTaC belagtfrøkrystalholder er normalt lavet af grafit, siliciumcarbid eller kulstof/kulstof kompositmaterialer, og derefter påføres et lag af TaC-belægning på overfladen gennem avanceret ultrahøj temperatur kemisk dampaflejring (CVD) teknologi. Den TaC-coatede frøkrystalholder fremstillet ved denne metode har fremragende korrosionsbestandighed, supermekanisk styrke, god højtemperaturbestandighed og effektiv termisk ledningsevne.
Funktionen af TaC-belagt frøkrystalholder
1.Support funktion
Semicorex's TaC-coatede frøkrystalholder giver en stabil støtteplatform til frøkrystaller, hvilket garanterer, at frøkrystallen bevarer en fast position under udfordrende forhold såsom høj temperatur og højvakuum. Dette forhindrer effektivt problemer som krystalforskydning eller skader fra vibrationer og luftstrøm og sikrer dermed kontinuiteten og stabiliteten af krystalvækst.
2. Beskyttende virkning
Den TaC-coatede frøkrystalholder er installeret over grafitdigellåget og isolerer grafitlåget fra højtemperatur Si-damp. Dette undgår effektivt dampinduceret korrosion og forlænger grafitlågets levetid. Derudover hjælper TaC-belægningens iboende kemiske stabilitet og termiske temperaturbestandighed også til at mindske introduktionen af urenheder, hvilket giver et stabilt og rent miljø for væksten af frøkrystaller.
3. Temperaturkontrol
Semicorex TaC-belagt frøkrystalholder bruger fremstillingsteknikker, der er på forkant med branchen. Præcis temperaturstyring af det termiske felt kan opnås ved ekspertoptimering af deres form, dimensioner og belægningstykkelse. Dette sænker defektraten betydeligt og fremmer effektivt ensartet krystalvækst.