TaC belagt rør

Styrken ved Semicorex TaC Coated Tube ligger i den synergistiske kombination af basismaterialet og den specialiserede coating:

High-Purity Isotropic Graphite Foundation:Kernen i det TaC Coated Tube er dannet af isotropisk grafit med ultrahøj renhed, kendt for sin fremragende termiske ledningsevne, lave termiske udvidelse og iboende modstand mod termisk stød. Dette fundament giver en robust og stabil platform, der er i stand til at modstå de hurtige temperatursvingninger og høje termiske belastninger, der er karakteristiske for halvlederbehandling.

Tantalcarbid---Et skjold af holdbarhed og træghed:Den CVD-påførte TaC-belægning transformerer grafitsubstratet, hvilket giver exceptionel hårdhed, slidstyrke og kemisk inerthed. Dette beskyttende lag fungerer som en barriere mod de aggressive gasser, plasmaer og reaktive arter, der stødes på under halvlederfremstilling, hvilket sikrer rørets strukturelle integritet og levetid.

Denne unikke materialekombination udmønter sig i en række fordele, der er afgørende for avanceret halvlederfremstilling:

Uovertruffen temperaturmodstand:TaC har et af de højeste smeltepunkter af alle kendte materialer og overgår selv siliciumcarbid (SiC). Denne ekstreme temperaturmodstand gør det muligt for TaC Coated Tube at fungere pålideligt i processer, der kræver temperaturer over 2500°C, hvilket muliggør produktion af næste generation af halvlederenheder med krævende termiske budgetter.

Ultrahøj renhed til kritisk proceskontrol:Vedligeholdelse af uberørte procesmiljøer er altafgørende ved fremstilling af halvledere. Brugen af ​​grafit med høj renhed og den omhyggelige CVD-belægningsproces sikrer minimal udgasning eller partikeldannelse fra det TaC-belagte rør, hvilket forhindrer kontaminering, der kan kompromittere følsomme waferoverflader og enhedens ydeevne.

Urokkelig kemisk modstand:Den kemiske inerthed af det TaC-coatede rør giver enestående modstandsdygtighed over for en lang række ætsende gasser, reaktive ioner og plasmamiljøer, der almindeligvis anvendes i halvlederprocesser såsom ætsning, aflejring og udglødning. Denne robuste kemiske stabilitet betyder forlænget rørlevetid, reducerede vedligeholdelseskrav og lavere samlede ejeromkostninger.

Forbedret mekanisk holdbarhed for forlænget levetid:Den stærke bindingskraft mellem TaC-belægningen og grafitsubstratet, kombineret med den iboende hårdhed af det TaC-belagte rør, giver enestående modstandsdygtighed over for slid, erosion og mekanisk belastning. Denne forbedrede holdbarhed betyder længere levetid og reduceret nedetid for udskiftning, hvilket forbedrer proceseffektiviteten og gennemløbet.