TaC-belægningsgrafit skabes ved at belægge overfladen af et højrent grafitsubstrat med et fint lag tantalcarbid ved en proprietær kemisk dampaflejringsproces (CVD).
Tantalcarbid (TaC) er en forbindelse, der består af tantal og kulstof. Det har metallisk elektrisk ledningsevne og et usædvanligt højt smeltepunkt, hvilket gør det til et ildfast keramisk materiale kendt for sin styrke, hårdhed og varme- og slidstyrke. Smeltepunktet for tantalcarbider topper ved omkring 3880°C afhængigt af renhed og har et af de højeste smeltepunkter blandt de binære forbindelser. Dette gør det til et attraktivt alternativ, når højere temperaturkrav overstiger ydeevnen, der bruges i epitaksiale processer af sammensatte halvledere, såsom MOCVD og LPE.
Materialedata for Semicorex TaC Coating
Projekter |
Parametre |
Tæthed |
14,3 (gm/cm³) |
Emissionsevne |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Hårdhed (HK) |
2000 |
Modstand (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Termisk stabilitet |
<2500℃ |
Ændring af grafitdimension |
-10~-20um (referenceværdi) |
Belægningstykkelse |
≥20um typisk værdi (35um±10um) |
|
|
Ovenstående er typiske værdier |
|
Semicorex TaC Coating Guide Ring fungerer som en altafgørende del i udstyr til metal-organisk kemisk dampaflejring (MOCVD), hvilket sikrer den præcise og stabile levering af forstadiegasser under den epitaksiale vækstproces. TaC Coating Guide Ring repræsenterer en række egenskaber, der gør den ideel til at modstå de ekstreme forhold, der findes i MOCVD-reaktorkammeret.**
Læs mereSend forespørgselSemicorex TaC Coating Wafer Chuck står som toppen af innovation i halvlederepitaksiprocessen, en kritisk fase i halvlederfremstilling. Med vores forpligtelse til at levere produkter af høj kvalitet til konkurrencedygtige priser, er vi klar til at være din langsigtede partner i Kina.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex MOCVD Susceptor med TaC Coating er en banebrydende komponent, som er omhyggeligt udformet til optimal ydeevne i halvlederepitaksiprocesser i MOCVD-systemer. Semicorex er urokkelig i vores forpligtelse til at levere overlegne produkter til yderst konkurrencedygtige priser. Vi er ivrige efter at etablere et varigt partnerskab med dig i Kina.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex CVD TaC Coated Ring regerer som en kritisk komponent i halvlederbehandling, der symboliserer zenit af moderne materialeteknik. Udformet til implementering i de mest stringente miljøer, hvor præcision og pålidelighed regerer, denne ring legemliggør fusionen af banebrydende belægningsteknikker med elastisk materialevidenskab. Semicorex leverer standhaftigt top-tier-produkter til konkurrencedygtige priser, og vi forventer ivrigt at indgå et langvarigt partnerskab med dig i Kina.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex TaC Coated Planetary Susceptor er en højt specialiseret komponent designet til brug i de epitaksiale processer af halvlederfremstilling. Semicorex er dedikeret til at levere topkvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser. Vi er ivrige efter at etablere et langsigtet partnerskab med dig i Kina.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex Tantalum Carbide Coating Guide Ring er en avanceret komponent, der er specielt designet til halvlederindustrien, der spiller en afgørende rolle i væksten af siliciumcarbid (SiC) krystaller. Dette produkt er konstrueret til at imødekomme de strenge krav fra højtemperatur- og højstressmiljøer, der er iboende i halvlederkrystalvækstprocesser. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina*.
Læs mereSend forespørgsel