TaC Coating Guide Ring

Funktion afTaC Coating Guide Ring:

Præcis gasstrømskontrol:TaC Coating Guide Ring er strategisk placeret i gasinjektionssystemet i MOCVD-reaktoren. dens primære funktion er at dirigere strømmen af ​​forstadiegasser og sikre deres ensartede fordeling over substratwaferoverfladen. Denne præcise kontrol over gasstrømningsdynamikken er afgørende for at opnå ensartet epitaksial lagvækst og ønskede materialeegenskaber.

Termisk styring:TaC Coating Guide Ring fungerer ofte ved forhøjede temperaturer på grund af deres nærhed til den opvarmede susceptor og substrat. TaC's fremragende termiske ledningsevne hjælper med at sprede varme effektivt, forhindrer lokal overophedning og opretholder en stabil temperaturprofil i reaktionszonen.

Fordele ved TaC i MOCVD:

Ekstrem temperaturmodstand:TaC har et af de højeste smeltepunkter blandt alle materialer, over 3800°C. 

Fremragende kemisk inerthed:TaC udviser enestående modstandsdygtighed over for korrosion og kemisk angreb fra de reaktive forløbergasser, der anvendes i MOCVD, såsom ammoniak, silan og forskellige metalorganiske forbindelser.

Korrosionsbestandighed sammenligning af TaC og SiC

Lav termisk udvidelse:TaC's lave termiske udvidelseskoefficient minimerer dimensionsændringer på grund af temperaturudsving under MOCVD-processen. 

Høj slidstyrke:Hårdheden og holdbarheden af ​​TaC giver fremragende modstand mod slitage fra den konstante strøm af gasser og potentielle partikler i MOCVD-systemet. 

Fordele for MOCVD-ydelse:

Brugen af ​​Semicorex TaC Coating Guide Ring i MOCVD-udstyr bidrager væsentligt til:

Forbedret epitaksial lagens ensartethed:Præcis gasstrømskontrol lettet af TaC Coating Guide Ring sikrer ensartet prækursorfordeling, hvilket resulterer i meget ensartet epitaksial lagvækst med ensartet tykkelse og sammensætning.

Forbedret processtabilitet:Den termiske stabilitet og kemiske inertitet af TaC bidrager til et mere stabilt og kontrolleret reaktionsmiljø i MOCVD-kammeret, hvilket minimerer procesvariationer og forbedrer reproducerbarheden.

Øget udstyrs oppetid:Holdbarheden og den forlængede levetid af TaC Coating Guide Ring reducerer behovet for hyppige udskiftninger, minimerer vedligeholdelsesnedetid og maksimerer driftseffektiviteten af ​​MOCVD-systemet.