TaC-belægningsgrafit skabes ved at belægge overfladen af et højrent grafitsubstrat med et fint lag tantalcarbid ved en proprietær kemisk dampaflejringsproces (CVD).
Tantalcarbid (TaC) er en forbindelse, der består af tantal og kulstof. Det har metallisk elektrisk ledningsevne og et usædvanligt højt smeltepunkt, hvilket gør det til et ildfast keramisk materiale kendt for sin styrke, hårdhed og varme- og slidstyrke. Smeltepunktet for tantalcarbider topper ved omkring 3880°C afhængigt af renhed og har et af de højeste smeltepunkter blandt de binære forbindelser. Dette gør det til et attraktivt alternativ, når højere temperaturkrav overstiger ydeevnen, der bruges i epitaksiale processer af sammensatte halvledere, såsom MOCVD og LPE.
Materialedata for Semicorex TaC Coating
Projekter |
Parametre |
Tæthed |
14,3 (gm/cm³) |
Emissionsevne |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Hårdhed (HK) |
2000 |
Modstand (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Termisk stabilitet |
<2500℃ |
Ændring af grafitdimension |
-10~-20um (referenceværdi) |
Belægningstykkelse |
≥20um typisk værdi (35um±10um) |
|
|
Ovenstående er typiske værdier |
|
Semicorex TaC Coated porøs grafit, er et avanceret højrent materiale til halvlederbehandling. Dette afgørende stykke udstyr spiller en central rolle i processen med enkeltkrystal SiC-vækst. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselSom den professionelle fremstilling vil vi gerne give dig TaC Coated Ringe. Vi introducerer CVD Tac Coated Ring, en avanceret løsning til halvlederudstyr. Dette banebrydende produkt kan prale af en avanceret kemisk dampaflejring (CVD) belægning, der giver enestående holdbarhed og modstandsdygtighed over for slid.
Læs mereSend forespørgselVi introducerer den CVD Tac-coatede digel, den perfekte løsning til producenter af halvlederudstyr og brugere, der kræver det højeste niveau af kvalitet og ydeevne. Vores digler er belagt med et avanceret CVD Tac (tantalcarbid) lag, som giver overlegen modstandsdygtighed over for korrosion og slid, hvilket gør dem ideelle til brug i en række forskellige halvlederapplikationer.
Læs mereSend forespørgsel