TaC-belægningsgrafit skabes ved at belægge overfladen af et højrent grafitsubstrat med et fint lag tantalcarbid ved en proprietær kemisk dampaflejringsproces (CVD).
Tantalcarbid (TaC) er en forbindelse, der består af tantal og kulstof. Det har metallisk elektrisk ledningsevne og et usædvanligt højt smeltepunkt, hvilket gør det til et ildfast keramisk materiale kendt for sin styrke, hårdhed og varme- og slidstyrke. Smeltepunktet for tantalcarbider topper ved omkring 3880°C afhængigt af renhed og har et af de højeste smeltepunkter blandt de binære forbindelser. Dette gør det til et attraktivt alternativ, når højere temperaturkrav overstiger ydeevnen, der bruges i epitaksiale processer af sammensatte halvledere, såsom MOCVD og LPE.
Materialedata for Semicorex TaC Coating
Projekter |
Parametre |
Tæthed |
14,3 (gm/cm³) |
Emissionsevne |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Hårdhed (HK) |
2000 |
Modstand (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Termisk stabilitet |
<2500℃ |
Ændring af grafitdimension |
-10~-20um (referenceværdi) |
Belægningstykkelse |
≥20um typisk værdi (35um±10um) |
|
|
Ovenstående er typiske værdier |
|
Semicorex TaC Coated Wafer Susceptor er en afgørende komponent, der bruges i metal-organisk kemisk dampaflejring (MOCVD) ovne til halvlederepitaksial (epi) behandling. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselSemicorex TaC Tantalcarbide Coated Plate er en banebrydende løsning designet til at imødekomme de strenge krav fra halvlederfremstilling, især i epitaksial (epi) behandlingsstadiet. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselSemicorex TaC Coated Guide Ring, et højdepunkt af innovation i SiC (Silicon Carbide) enkeltkrystal vækstovne. Omhyggeligt designet til at imødekomme de krævende krav fra halvlederindustrien, denne guidering lover at omdefinere dine krystalvækstprocesser med uovertruffen præcision og pålidelighed.
Læs mereSend forespørgselSemicorex banebrydende TaC Coated Graphite Susceptor, en revolutionerende komponent designet til at løfte din waferepitaksiale proces til nye højder af effektivitet og præcision. Semicorex TaC Coated Graphite Susceptor er lavet med uovertruffen ekspertise og udnytter den nyeste teknologi og er konstrueret til at opfylde de krævende krav til fremstilling af halvledere.
Læs mereSend forespørgselSemicorex leverer højkvalitets tantalkarbidbelagte grafitdele med tilpasset service. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselSemicorex leverer tantalkarbidbelagt grafitoptager med tilpasset service. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgsel