TaC-belægningsgrafit skabes ved at belægge overfladen af et højrent grafitsubstrat med et fint lag tantalcarbid ved en proprietær kemisk dampaflejringsproces (CVD).
Tantalcarbid (TaC) er en forbindelse, der består af tantal og kulstof. Det har metallisk elektrisk ledningsevne og et usædvanligt højt smeltepunkt, hvilket gør det til et ildfast keramisk materiale kendt for sin styrke, hårdhed og varme- og slidstyrke. Smeltepunktet for tantalcarbider topper ved omkring 3880°C afhængigt af renhed og har et af de højeste smeltepunkter blandt de binære forbindelser. Dette gør det til et attraktivt alternativ, når højere temperaturkrav overstiger ydeevnen, der bruges i epitaksiale processer af sammensatte halvledere, såsom MOCVD og LPE.
Materialedata for Semicorex TaC Coating
Projekter |
Parametre |
Tæthed |
14,3 (gm/cm³) |
Emissionsevne |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Hårdhed (HK) |
2000 |
Modstand (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Termisk stabilitet |
<2500℃ |
Ændring af grafitdimension |
-10~-20um (referenceværdi) |
Belægningstykkelse |
≥20um typisk værdi (35um±10um) |
|
|
Ovenstående er typiske værdier |
|
Semicorex TaC-belagt tætningsring påført tætningskomponenter giver exceptionelle ydeevnefordele i de krævende miljøer inden for halvlederfremstilling. TaC-coating løser kritiske udfordringer relateret til kemisk resistens, ekstreme temperaturer og mekanisk slid, hvilket muliggør højere procesudbytte, øget udstyrs oppetid og i sidste ende lavere produktionsomkostninger. Vi hos Semicorex er dedikerede til at fremstille og levere højtydende TaC-belagt tætningsring, der forener kvalitet med omkostningseffektivitet.**
Læs mereSend forespørgselSemicorex tantalkarbidbelagt susceptor er en kritisk komponent, der spiller en central rolle i aflejringsprocesser, der er afgørende for at skabe halvlederwafere. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina*.
Læs mereSend forespørgselSemicorex Tantalum Carbide Chuck er en avanceret komponent, der bruges i halvlederfremstillingsudstyr, kendt for sine exceptionelle termiske og mekaniske egenskaber. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina*.
Læs mereSend forespørgselSemicorex TaC Coated Ring står som en kritisk komponent, der opfylder disse krævende krav. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina*.
Læs mereSend forespørgselSemicorex TaC-belagt brusehoved er en integreret del af den kemiske dampaflejring, hvilket giver uovertruffen ydeevne og lang levetid. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina*.
Læs mereSend forespørgselSemicorex TaC-belagt borepatron repræsenterer et betydeligt fremskridt inden for halvlederfremstilling. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina*.
Læs mereSend forespørgsel