1x2" Graphite Wafer Susceptorer

Ved fremstilling af halvlederwafere kræves det, at det epitaksiale lag dyrkes på wafersubstratet til den efterfølgende fremstilling af halvlederanordninger. Da den epitaksiale vækstproces er meget følsom over for temperatursvingninger og forurening, er valgene af pålideligewafer susceptorerer kritisk vigtige. Som de uundværlige støttedele i waferepitaksialprocesser er bearbejdningspræcisionen, termisk styringsevne og kontamineringsmodstandsevne afgørende faktorer for at opnå højkvalitets waferepitaksial vækst.

Funktionerne af Semicorex 1x2" grafit wafer susceptorer

Fremstillet af ultrafinkornet, højrenhedsgrafit som deres matrix med den tætte siliciumcarbidbelægning via specielle processer, Semicorex 1x2" grafitwafer-susceptorer leverer følgende funktioner:

1.Sikker og uaktuel beholdning

Semicorex 1x2"grafitwafer susceptorer har præcisionsbearbejdning og behandling, der leverer enestående overfladeplanhed og dimensionsnøjagtighed. Dette sikrer, at de er solidt fastgjort i en passende position og giver en stabil, flad støtteplatform til epitaksial wafervækst.

2. Præcision ensartet varmefordeling

Med den fremragende termiske ledningsevne af grafit og SiC materialer giver Semicorex 1x2" grafit wafer susceptorer hurtig og ensartet varmefordeling over halvledersubstansen. Ved at minimere temperaturgradienter kan Semicorex 1x2" grafit wafer susceptorer effektivt undgå problemer som ujævn epitaksial kvalitet og stresskoncentration.

Fordelene ved Semicorex siliciumcarbid belægning

1. Overlegen korrosionsbestandighed

Dækket med den tætte siliciumcarbidbelægning er Semicorex 1x2" grafitwafer-susceptorer effektivt modstandsdygtige over for de fleste kemikalier, hvilket gør dem velegnede til applikationer under stærkt korrosive driftsforhold, hvor materialet ofte udsættes for ætsende gasser og kemiske dampe.

2. Lav partikelafgivelse

Semicorexsiliciumcarbid belægninghar en høj vedhæftningsstyrke med grafitmatrixen, hvilket væsentligt kan undgå risikoen for substratforurening på grund af belægningsløsning på grund af korrosion og partikelnedfald forårsaget af højkorrosionsmiljøer.

3. Pålidelig levetid

Selvom grafitmatricer udviser fremragende termisk stabilitet og mekanisk styrke, er den tilbøjelig til korrosion og pulverisering under driftsbetingelser for epitaksial proces, hvilket i høj grad forkorter levetiden af ​​ubelagte grafitmatricer. Ved fuldt ud at indkapsle grafitmatricerne med tætte SiC-belægninger opnår vores 1×2" grafitwafer-susceptorer overlegen og pålidelig holdbarhed.

Materialedata for Semicorex SiC Coating