Keramisk sluteffektor

Semicorex er din partner for avancerede grafitkomponenter og -samlinger for at understøtte højere gennemløb og bedre udbytte i dit halvlederbehandlingsudstyr. Vores materialeeksperter er klar til at arbejde sammen med dig om at udvikle den optimale, rigtige løsning til dine krav til håndtering af wafer, opvarmning og forarbejdning. Vores Ceramic End Effector har en god prisfordel og dækker mange af de europæiske og amerikanske markeder. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

Ceramic End Effector er robottens hånd, der flytter halvlederwafere mellem positioner i waferbehandlingsudstyr og bærere. Endeeffektoren skal være dimensionelt præcis og termisk stabil, samtidig med at den har en glat, slidstærk overflade for sikkert at håndtere wafere uden at beskadige enheder eller producere partikelforurening. Vores keramiske sluteffektor af siliciumcarbid af høj renhed giver overlegen varmebestandighed, ensartet termisk ensartethed for ensartet epi-lagtykkelse og modstandsdygtighed og holdbar kemisk resistens.

Hos Semicorex fokuserer vi på at levere højkvalitets, omkostningseffektiv Ceramic End Effector, vi prioriterer kundetilfredshed og leverer omkostningseffektive løsninger. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner, der leverer produkter af høj kvalitet og enestående kundeservice.

Parametre for keramisk sluteffektor

Hovedspecifikationer for CVD-SIC belægning
SiC-CVD egenskaber
Krystal struktur	FCC β-fase
Tæthed	g/cm³	3.21
Hårdhed	Vickers hårdhed	2500
Kornstørrelse	μm	2~10
Kemisk renhed	%	99.99995
Varmekapacitet	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bøjning, 1300 ℃)	430
Termisk udvidelse (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termisk ledningsevne	(W/mK)	300