Semicorex er din partner for avancerede grafitkomponenter og -samlinger for at understøtte højere gennemløb og bedre udbytte i dit halvlederbehandlingsudstyr. Vores materialeeksperter er klar til at arbejde sammen med dig om at udvikle den optimale, rigtige løsning til dine krav til waferhåndtering, opvarmning og forarbejdning. Vores keramiske sluteffektor har en god prisfordel og dækker mange af de europæiske og amerikanske markeder. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Ceramic End Effector er robottens hånd, der flytter halvlederwafere mellem positioner i waferbehandlingsudstyr og bærere. Endeeffektoren skal være formmæssigt præcis og termisk stabil, samtidig med at den har en glat, slidstærk overflade for sikkert at håndtere wafere uden at beskadige enheder eller producere partikelforurening. Vores keramiske sluteffektor af høj renhed af siliciumcarbid giver overlegen varmebestandighed, ensartet termisk ensartethed for ensartet epilags tykkelse og modstand og holdbar kemisk resistens.
Hos Semicorex fokuserer vi på at levere højkvalitets, omkostningseffektiv Ceramic End Effector, vi prioriterer kundetilfredshed og leverer omkostningseffektive løsninger. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner, der leverer produkter af høj kvalitet og enestående kundeservice.
Parametre for keramisk sluteffektor
Hovedspecifikationer for CVD-SIC belægning |
||
SiC-CVD egenskaber |
||
Krystal struktur |
FCC β fase |
|
Massefylde |
g/cm³ |
3.21 |
Hårdhed |
Vickers hårdhed |
2500 |
Kornstørrelse |
μm |
2~10 |
Kemisk renhed |
% |
99.99995 |
Varmekapacitet |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Sublimeringstemperatur |
℃ |
2700 |
Feleksural styrke |
MPa (RT 4-punkts) |
415 |
Youngs modul |
Gpa (4pt bøjning, 1300â) |
430 |
Termisk udvidelse (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Varmeledningsevne |
(W/mK) |
300 |
Funktioner af keramisk sluteffektor med høj renhed
â SiC-belagt grafit med høj renhed
â Overlegen varmebestandighed og termisk ensartethed
â Fin SiC krystal belagt for en glat overflade
â Høj holdbarhed mod kemisk rengøring
â Materialet er designet, så der ikke opstår revner og delaminering.