SiC Coated Wafer Heater

Semicorex er en førende uafhængigt ejet producent af siliciumcarbidbelagt grafit, præcisionsbearbejdet højrent grafit med fokus på siliciumcarbidbelagt grafit, siliciumcarbidkeramisk, MOCVP-områder inden for halvlederfremstilling. Vores SiC Coated Wafer Heater har en god prisfordel og dækker mange af de europæiske og amerikanske markeder. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

Semicorex SiC Coated Wafer Heater kan fungere i højtemperaturovnen med over 3000 °C i en inert atmosfære, 2200 °C i vakuum. SiC Coated Wafer Heater med høj renhed giver overlegen varmebestandighed, ensartet termisk ensartethed for ensartet epilags tykkelse og modstand og holdbar kemisk resistens. Fin SiC-krystalbelægning giver en ren, glat overflade, som er afgørende for håndtering, da uberørte wafere kommer i kontakt med susceptoren på mange punkter i hele deres område.
Hos Semicorex fokuserer vi på at levere højkvalitets, omkostningseffektiv SiC Coated Wafer Heater, vi prioriterer kundetilfredshed og leverer omkostningseffektive løsninger. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner, der leverer produkter af høj kvalitet og enestående kundeservice.

Parametre for SiC Coated Wafer Heater

Teknisk specifikation	VET-M3
Bulkdensitet (g/cm3)	≥1,85
Askeindhold (PPM)	≤500
Shore hårdhed	≥45
Specifik modstand (μ.Ω.m)	≤12
Bøjestyrke (Mpa)	≥40
Kompressionsstyrke (Mpa)	≥70
Maks. Kornstørrelse (μm)	≤43
Termisk udvidelseskoefficient Mm/°C	≤4,4*10-6

Funktioner af SiC Coated Wafer Heater

- SiC-belagt grafit med høj renhed
- Overlegen varmebestandighed og termisk ensartethed
- Fin SiC krystal belagt for en glat overflade
- Høj holdbarhed mod kemisk rengøring
- Materiale er designet, så der ikke opstår revner og delaminering.