Wafer Process Heater

Semicorex er en storstilet producent og leverandør af siliciumcarbidbelagt grafitsusceptor i Kina. Vi fokuserer på halvlederindustrier såsom siliciumcarbidlag og epitaksihalvleder. Vores Wafer Process Heater har en god prisfordel og dækker mange af de europæiske og amerikanske markeder. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

Semicorex Wafer Process Heater er lavet af Silicon Carbide Coating (SiC) grafit, belægningen påføres ved en CVD-metode til specifikke kvaliteter af højdensitetsgrafit, så den kan fungere i højtemperaturovnen med over 3000 °C i en inert atmosfære, 2200°C i vakuum.
De specielle egenskaber og lave masse af Wafer Process Heater-materialet tillader hurtige opvarmningshastigheder, ensartet temperaturfordeling og enestående præcision i kontrol. I sammenligning med andre materialer forbliver overfladen af siliciumcarbid flad på grund af dens lave termiske udvidelse, selv når den betjenes med hurtige temperaturændringer. Varmepladerne er meget velegnede til krævende processer i halvlederprocessystemer.
Hos Semicorex fokuserer vi på at levere omkostningseffektive produkter af høj kvalitet til vores kunder. Vores Wafer Process Heater har en prisfordel og eksporteres til mange europæiske og amerikanske markeder. Vi sigter efter at være din langsigtede partner, der leverer ensartede kvalitetsprodukter og enestående kundeservice.

Parametre for Wafer Process Heater

Teknisk specifikation	VET-M3
Bulkdensitet (g/cm3)	≥1,85
Askeindhold (PPM)	≤500
Shore hårdhed	≥45
Specifik modstand (μ.Ω.m)	≤12
Bøjestyrke (Mpa)	≥40
Kompressionsstyrke (Mpa)	≥70
Maks. Kornstørrelse (μm)	≤43
Termisk udvidelseskoefficient Mm/°C	≤4,4*10-6

Funktioner af Wafer Process Heater

- CVD SiC-belægninger for at forbedre levetiden.
- Høj temperaturbestandighed, korrosionsbestandighed, lang levetid, kan forbedre waferkvalitet og udbytte.
- Den har ekstremt lav termisk udvidelseskoefficient, høj temperaturbestandighed, høj slidstyrke, god isolering, god kemisk stabilitet og næsten lilla (rød) synligt lysindtrængning.

Vi kan levere anti-oxidation og lang levetid grafit digel, grafit form og alle dele af grafit varmelegeme.