Dyb-UV LED Epitaksial Susceptor

Semicorex er en storstilet producent og leverandør af siliciumcarbidbelagt grafitsusceptor i Kina. Vi har været producent og leverandør af Deep-UV LED Epitaxial Susceptor i mange år. Vores produkter har en god prisfordel og dækker de fleste af de europæiske og amerikanske markeder. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

Deep-UV LED epitaksiale susceptorer er afgørende for fremstillingen af LED. Semicorex siliciumcarbid (SiC)-belagt plade gør fremstillingen af højkvalitets dybe UV LED-wafere mere effektiv. SiC Coating er en tæt, slidstærk siliciumcarbid (SiC) coating. Det har høje korrosions- og varmebestandighedsegenskaber samt fremragende varmeledningsevne. Vi påfører SiC i tynde lag på grafitten ved hjælp af den kemiske dampaflejring (CVD) proces.
Uanset hvad dine specifikke krav måtte være, vil vi identificere den bedste løsning til MOCVD-epitaksi såvel som halvleder- og LED-industrien.
Vores Deep-UV LED Epitaxial Susceptor er designet til at opnå det bedste laminære gasstrømningsmønster, hvilket sikrer ensartet termisk profil. Dette hjælper med at forhindre enhver forurening eller diffusion af urenheder, hvilket sikrer epitaksial vækst af høj kvalitet på wafer-chippen.
Kontakt os i dag for at lære mere om vores Deep-UV LED Epitaxial Susceptor.

Parametre for Deep-UV LED Epitaxial Susceptor

Hovedspecifikationer for CVD-SIC belægning
SiC-CVD egenskaber
Krystal struktur	FCC β-fase
Tæthed	g/cm³	3.21
Hårdhed	Vickers hårdhed	2500
Kornstørrelse	μm	2~10
Kemisk renhed	%	99.99995
Varmekapacitet	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bøjning, 1300 ℃)	430
Termisk udvidelse (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termisk ledningsevne	(W/mK)	300

Funktioner af Deep-UV LED Epitaxial Susceptor

- Lavere bølgelængdeafvigelse og højere spånudbytte
- Både grafitsubstratet og siliciumcarbidlaget har en høj varmeledningsevne og fremragende varmefordelingsegenskaber.
- Snævrere dimensionstolerancer fører til højere produktudbytte og lavere omkostninger
- Undgå at skalle af og sørg for belægning på alle overflader
Højtemperaturoxidationsbestandighed: Stabil ved høje temperaturer op til 1600°C
Høj renhed: Fremstillet af CVD kemisk dampaflejring under højtemperaturkloreringsbetingelser.
Korrosionsbestandighed: høj hårdhed, tæt overflade og fine partikler.
Korrosionsbestandighed: syre, alkali, salt og organiske reagenser.