Epitaksial modtager
  • Epitaksial modtagerEpitaksial modtager

Epitaksial modtager

Semicorex Epitaxial Susceptor med SiC-belægning er designet til at understøtte og holde SiC-wafere under den epitaksiale vækstproces, hvilket sikrer præcision og ensartethed i halvlederfremstilling. Vælg Semicorex for dets højkvalitets, holdbare og tilpasselige produkter, der opfylder de strenge krav til avancerede halvlederapplikationer.*

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

Semicorex Epitaxial Susceptor er en højtydende komponent, der er specielt designet til at understøtte og holde SiC-wafere under den epitaksiale vækstproces i halvlederfremstilling. Denne avancerede susceptor er konstrueret af en grafitbase af høj kvalitet, belagt med et lag siliciumcarbid (SiC), som giver enestående ydeevne under de strenge betingelser for epitaksiprocesser ved høje temperaturer. SiC-belægningen forbedrer materialets termiske ledningsevne, mekaniske styrke og kemiske modstand, hvilket sikrer overlegen stabilitet og pålidelighed i halvlederwafer-håndteringsapplikationer.


Nøglefunktioner



  • Høj termisk ledningsevne:Det SiC-belagte grafitmateriale tilbyder fremragende termisk ledningsevne, som er afgørende for at opretholde ensartet temperaturfordeling over waferen under den epitaksiale proces. Dette sikrer den optimale vækst af SiC-lag på substratet, hvilket reducerer termiske gradienter og forbedrer proceskonsistensen.
  • Overlegen holdbarhed:SiC-belægningen forbedrer markant modstanden mod termisk stød og mekanisk slid, hvilket forlænger susceptorens levetid. Dette er kritisk i miljøer med høje temperaturer, hvor komponenten skal tåle kontinuerlige cyklusser mellem høje og lave temperaturer uden nedbrydning.
  • Forbedret kemisk modstand:SiC-belægningen giver enestående modstandsdygtighed over for kemisk korrosion, især ved tilstedeværelse af reaktive gasser og høje temperaturer, som er almindelige i epitaksiale processer. Dette øger pålideligheden af ​​susceptoren, hvilket sikrer, at den kan bruges i de mest krævende halvlederproduktionsmiljøer.
  • Dimensionsstabilitet:SiC-belægningen bidrager til fremragende dimensionsstabilitet selv ved høje temperaturer, hvilket reducerer risikoen for vridning eller deformation. Denne funktion sikrer, at susceptoren bevarer sin form og mekaniske egenskaber ved længere tids brug, hvilket giver en ensartet og pålidelig wafer-håndtering.
  • Præcision og ensartethed:Epitaxial Susceptor er designet til at opretholde præcis waferplacering og justering, hvilket forhindrer fejljustering under epitaksialprocessen. Denne præcision sikrer ensartethed i væksten af ​​SiC-lagene, hvilket er afgørende for ydeevnen af ​​den endelige halvlederenhed.
  • Tilpasning:Epitaxial Susceptor kan skræddersyes til at opfylde specifikke kundekrav, såsom størrelse, form og antallet af wafers, der skal holdes, hvilket gør den velegnet til en lang række epitaksiale reaktorer og processer.



Anvendelser i halvlederindustrien


Den epitaksiale susceptor med SiC-belægning spiller en afgørende rolle i den epitaksiale vækstproces, især for SiC-wafere, der bruges i højeffekt-, højtemperatur- og højspændingshalvlederenheder. Processen med epitaksial vækst involverer aflejring af et tyndt lag materiale, ofte SiC, på en substratwafer under kontrollerede forhold. Susceptorens rolle er at støtte og holde waferen på plads under denne proces, hvilket sikrer jævn eksponering for de kemiske dampaflejringsgasser (CVD) eller andre prækursormaterialer, der bruges til væksten.


SiC-substrater bruges i stigende grad i halvlederindustrien på grund af deres evne til at modstå ekstreme forhold, såsom høj spænding og temperatur, uden at gå på kompromis med ydeevnen. Epitaxial Susceptor er designet til at understøtte SiC-wafere under epitaksiprocessen, som typisk udføres ved temperaturer over 1.500°C. SiC-belægningen på susceptoren sikrer, at den forbliver robust og effektiv i sådanne højtemperaturmiljøer, hvor konventionelle materialer ville nedbrydes hurtigt.


Den epitaksiale susceptor er en kritisk komponent i produktionen af ​​SiC-energienheder, såsom højeffektive dioder, transistorer og andre effekthalvlederenheder, der bruges i elektriske køretøjer, vedvarende energisystemer og industrielle applikationer. Disse enheder kræver højkvalitets, defektfrie epitaksiale lag for optimal ydeevne, og Epitaxial Susceptor hjælper med at opnå dette ved at opretholde stabile temperaturprofiler og forhindre kontaminering under vækstprocessen.


Fordele i forhold til andre materialer


Sammenlignet med andre materialer, såsom blottede grafit- eller siliciumbaserede susceptorer, tilbyder Epitaxial Susceptor med SiC-belægning overlegen termisk styring og mekanisk integritet. Mens grafit giver god varmeledningsevne, kan dets følsomhed over for oxidation og slid ved høje temperaturer begrænse dets effektivitet i krævende applikationer. SiC-belægningen forbedrer dog ikke kun materialets varmeledningsevne, men sikrer også, at det kan modstå de barske forhold i det epitaksiale vækstmiljø, hvor langvarig udsættelse for høje temperaturer og reaktive gasser er almindelig.


Desuden sikrer den SiC-belagte susceptor, at waferens overflade forbliver uforstyrret under håndtering. Dette er især vigtigt, når der arbejdes med SiC-wafers, som ofte er meget følsomme over for overfladeforurening. SiC-belægningens høje renhed og kemiske modstand reducerer risikoen for kontaminering, hvilket sikrer waferens integritet gennem hele vækstprocessen.


Semicorex Epitaxial Susceptor med SiC-belægning er en uundværlig komponent til halvlederindustrien, især til processer, der involverer SiC-wafer-håndtering under epitaksial vækst. Dens overlegne termiske ledningsevne, holdbarhed, kemiske resistens og dimensionsstabilitet gør den til en ideel løsning til højtemperaturhalvlederproduktionsmiljøer. Med evnen til at tilpasse susceptoren til at opfylde specifikke behov, sikrer den præcision, ensartethed og pålidelighed i væksten af ​​højkvalitets SiC-lag til strømenheder og andre avancerede halvlederapplikationer.


Hot Tags: Epitaksial Susceptor, Kina, Producenter, Leverandører, Fabrik, Customized, Bulk, Avanceret, Holdbar
Relateret kategori
Send forespørgsel
Du er velkommen til at give din forespørgsel i nedenstående formular. Vi svarer dig inden for 24 timer.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept