MOCVD satellitholderplade

Semicorex MOCVD Satellite Holder Plate er en fremragende bærer designet til brug i halvlederindustrien. Dens høje renhed, fremragende korrosionsbestandighed og endda termiske profil gør den til et fremragende valg for dem, der leder efter en bærer, der kan modstå kravene fra halvlederfremstillingsprocessen. Vi er forpligtet til at give vores kunder produkter af høj kvalitet, der opfylder deres specifikke krav. Kontakt os i dag for at lære mere om vores MOCVD satellitholderplade, og hvordan vi kan hjælpe dig med dine behov for fremstilling af halvledere.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

Semicorex MOCVD Satellite Holder Plate er en højkvalitetsholder designet til brug i halvlederindustrien. Vores produkt er belagt med et højrent siliciumcarbid på grafit, hvilket gør det meget modstandsdygtigt over for oxidation ved høje temperaturer på op til 1600°C. Den kemiske CVD-dampaflejringsproces, der anvendes i dens fremstilling, sikrer høj renhed og fremragende korrosionsbestandighed, hvilket gør den ideel til brug i renrumsmiljøer.
Funktionerne på vores MOCVD satellitholderplade er imponerende. Dens tætte overflade og fine partikler øger dens korrosionsbestandighed, hvilket gør den modstandsdygtig over for syre, alkali, salt og organiske reagenser. Denne bærer er meget stabil, selv i ekstreme miljøer, hvilket gør den til et fremragende valg for dem, der leder efter en bærer, der kan modstå kravene fra halvlederindustrien.

Parametre for MOCVD satellitholderplade

Hovedspecifikationer for CVD-SIC belægning
SiC-CVD egenskaber
Krystal struktur	FCC β-fase
Tæthed	g/cm³	3.21
Hårdhed	Vickers hårdhed	2500
Kornstørrelse	μm	2~10
Kemisk renhed	%	99.99995
Varmekapacitet	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bøjning, 1300 ℃)	430
Termisk udvidelse (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termisk ledningsevne	(W/mK)	300

Funktioner af SiC Coated Graphite Susceptor til MOCVD

- Undgå at skalle af og sørg for belægning på alle overflader
Højtemperaturoxidationsbestandighed: Stabil ved høje temperaturer op til 1600°C
Høj renhed: Fremstillet af CVD kemisk dampaflejring under højtemperaturkloreringsbetingelser.
Korrosionsbestandighed: høj hårdhed, tæt overflade og fine partikler.
Korrosionsbestandighed: syre, alkali, salt og organiske reagenser.
- Opnå det bedste laminære gasstrømningsmønster
- Garanterer ensartethed af termisk profil
- Undgå enhver forurening eller diffusion af urenheder