Brusehoveder i Ætsning

2025-10-13

Siliciumcarbid (SiC) brusehoveder er nøglekomponenter i halvlederfremstillingsudstyr og spiller en afgørende rolle i avancerede processer såsom kemisk dampaflejring (CVD) og atomlagsdeposition (ALD).


Den primære funktion af enSiC brusehoveder at fordele reaktantgasser jævnt over waferoverfladen, hvilket sikrer ensartede og ensartede aflejrede lag. I CVD- og ALD-processer er ensartet fordeling af reaktantgasser afgørende for at opnå tyndfilm af høj kvalitet. SiC-brusehovedernes unikke struktur og materialeegenskaber muliggør effektiv gasfordeling og ensartet gasflow, der opfylder de strenge krav til filmkvalitet og ydeevne i halvlederfremstilling.

SiC brusehoveder bruges i vid udstrækning til fremstilling af integrerede kredsløb, mikroelektromekaniske systemer (MEMS), effekthalvledere og andre områder. Deres ydeevnefordele er især tydelige i avancerede procesknudepunkter, der kræver højpræcisionsdeponering, såsom 7nm og 5nm processer og derunder. De giver stabil og ensartet gasfordeling, hvilket sikrer ensartethed og konsistens af det aflejrede lag og forbedrer derved ydeevnen og pålideligheden af ​​halvlederenheder.


SiC brusehoveder bruges i vid udstrækning til fremstilling af integrerede kredsløb, mikroelektromekaniske systemer (MEMS), effekthalvledere og andre områder. Deres ydeevnefordele er især tydelige i avancerede procesknudepunkter, der kræver højpræcisionsdeponering, såsom 7nm og 5nm processer og derunder. De giver stabil og ensartet gasfordeling, hvilket sikrer ensartethed og konsistens af det aflejrede lag og forbedrer derved ydeevnen og pålideligheden af ​​halvlederenheder.





Semicorex tilbyder tilpassedeCVD SiCogog brusehovederbaseret på kundernes behov. Hvis du har spørgsmål eller brug for yderligere detaljer, så tøv ikke med at kontakte os.


Kontakt telefon # +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com


X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept