Efterhånden som teknologiknudepunkterne fortsætter med at skrumpe, giver dannelsen af ultra-fladvande krydsninger betydelige udfordringer. Termiske udglødningsprocesser, herunder hurtig termisk udglødning (RTA) og flashlampeudglødning (FLA) er vitale teknikker, der opretholder høje aktiveringshast......
Læs mereI halvlederfremstilling er præcisionen og stabiliteten af ætseprocessen altafgørende. En kritisk faktor for at opnå ætsning af høj kvalitet er at sikre, at wafers er helt fladt på bakken under processen. Enhver afvigelse kan føre til ujævnt ionbombardement, hvilket forårsager uønskede vinkler og v......
Læs mere