Produkter

Semicorex Silicon Carbide SiC Vacuum Chucks er præcisions-keramiske wafer-holdende komponenter konstrueret til højnøjagtig halvlederbehandling, der tilbyder enestående termisk stabilitet, overlegen fladhed og ultra-ren vakuumadsorptionsydelse. Semicorex kombinerer avanceret SiC-materialeteknologi, præcisionsbearbejdningskapacitet og streng kvalitetskontrol af halvlederkvalitet for at levere yderst pålidelige vakuumpatronløsninger til kunder over hele verden.*

Fremstillet af højkvalitets porøs siliciumcarbid keramik, Semicorex porøse SiC vakuum patroner er højpræcisions wafer fastspændingsværktøjer specielt designet til ren, skadefri håndtering af tynde og skrøbelige wafers. Ved at vælge Semicorex vil du nyde de optimale waferfastspændings- og positioneringsløsninger til banebrydende halvlederfremstillingsprocesser.

Semicorex smeltede kvartsdigler med høj renhed, lavet af halvlederkvalitets højrent kvartsmaterialer, er de kritiske beholdere i den banebrydende halvlederfremstilling. Semicorex smeltede kvartsdigler med høj renhed er de ideelle kvartsløsninger designet specifikt til vækstprocessen med enkeltkrystal silicium i højtemperatur-enkrystalovne.

Semicorex porøs tantalcarbid keramik er den højtydende porøse keramik, der er udviklet specifikt i den fysiske damptransport (PVT) proces. Dens specielle porøse struktur og fremragende egenskaber spiller en vigtig rolle i at lette væksten af ​​højkvalitets siliciumcarbidkrystal. Ved at vælge Semicorex får du ideelle porøse keramiske løsninger med ensartet kvalitet og stabil ydeevne til avanceret halvlederfremstilling.

Semicorex keramiske fokusringe til halvledere er de højtydende ringdele lavet af CVD SiC-materialer, som er specielt udviklet til højintensive plasmaætsningsmiljøer. Semicorex er en brancheførende producent af CVD SiC keramiske fokusringe til halvledere, vi ser frem til din forespørgsel.

Semicorex poly-Si ydre ringe til ætsning er de præcisionsbearbejdede ringdele lavet af polysiliciummaterialer. Semicorex poly-Si ydre ringe til ætsning, som er specielt udviklet til elektrodesystemerne i avanceret ætseudstyr, kan effektivt sikre stabiliteten af ​​ætseprocessen. At vælge Semicorex betyder, at du får de ydre højkvalitets poly-Si ringe til ætsning, der kan forbedre waferudbyttet og driftseffektiviteten.