Poly-Si ydre ringe til ætsning

Typisk placeret omkringbrusehoved, Poly-Si yderring fungerer som forbindelsesdelen mellem udstødningsringen og brusehovedet. Det arbejder i samarbejde medelektrostatisk borepatron, Si-brusehovedet, Si-fokusringen, Si-udstødningsringen og Si-afskærmningsringen, hvilket skaber et stabilt og pålideligt procesmiljø til ætsning med høj præcision.

Fordele ved Semicorex poly-Si ydre ringe til ætsning

Semicorex poly-Si ydre ringe til ætsning er præcist fremstillet af højkvalitets polysilicium, der leverer følgende fremragende egenskabsydelse.

1.Høj renlighed og lavt partikelindhold

2.Superior høj temperatur modstand og høj termisk stød modstand

3.Plidelig korrosionsbestandighed

4.Exceptionel elektrisk ydeevne og høj elektrisk ledningsevne ensartethed

Funktioner af Semicorex poly-Si ydre ringe til ætsning

1. Stabil jordforbindelse

Brugt til elektrodejording og beskyttelse, Semicorex poly-Si ydre ringe til ætsning er i stand til at undgå statisk akkumulering samt lysbueskader og sikre stabil drift af elektrodesystemet, hvilket perfekt opfylder proceskravene til avanceret 3D NAND-fremstilling.

2. Pålidelig support

Semicorex poly-Si ydre ringe til ætsning tjener som de væsentlige komponenter, der forbinder udstødningsringen og brusehovedet. De giver pålidelig mekanisk støtte til begge dele og holder dem stabilt placeret på det passende sted. Derudover kan brugen af ​​Semicorex poly-Si yderringe til ætsning forhindre plasmaerosion på ætsekammeret, hvilket dermed effektivt sikrer en stabil udførelse af ætseoperationen.

3. Kompatibilitet med ætseprocessen

Semicorex poly-Si ydre ringe til ætsning har et lavt indhold af urenheder og enestående korrosionsbestandighed, hvilket giver fremragende kompatibilitet med fremstillingen af ​​siliciumwafers, hvilket i høj grad reducerer wafer-defekter forårsaget af ætset biproduktkontamination og sikrer betydeligt et højt udbytte i halvlederproduktion.