Produkter

Semicorex RTP SIC-belægningsplader er højtydende wafer-bærere konstrueret til brug i krævende hurtige termiske behandlingsmiljøer. På betroet af førende halvlederproducenter leverer Semicorex overlegen termisk stabilitet, holdbarhed og forureningskontrol støttet af strenge kvalitetsstandarder og præcisionsproduktion.*

Semicorex RTP Ring er en SiC-belagt grafitring designet til højtydende applikationer i Rapid Thermal Processing (RTP) systemer. Vælg Semicorex for vores avancerede materialeteknologi, der sikrer overlegen holdbarhed, præcision og pålidelighed i halvlederfremstilling.*

Semicorex's RTP Graphite Carrier Plate er den perfekte løsning til applikationer til behandling af halvlederwafere, herunder epitaksial vækst og waferhåndteringsbehandling. Vores produkt er designet til at tilbyde overlegen varmebestandighed og termisk ensartethed, hvilket sikrer, at epitaksi-susceptorerne udsættes for aflejringsmiljøet med høj varme- og korrosionsbestandighed.

Semicorex RTP SiC Coating Carrier tilbyder overlegen varmebestandighed og termisk ensartethed, hvilket gør den til den perfekte løsning til halvlederwaferbehandlingsapplikationer. Med sin højkvalitets SiC-belagte grafit er dette produkt designet til at modstå det hårdeste aflejringsmiljø for epitaksial vækst. Den høje termiske ledningsevne og fremragende varmefordelingsegenskaber sikrer pålidelig ydeevne til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring.

Semicorex RTP/RTA SiC Coating Carrier er konstrueret til at modstå de hårdeste forhold i aflejringsmiljøet. Med sin høje varme- og korrosionsbestandighed er dette produkt designet til at give optimal ydeevne til epitaksial vækst. Den SiC-belagte bærer har en høj varmeledningsevne og fremragende varmefordelingsegenskaber, hvilket sikrer pålidelig ydeevne til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring.

Semicorex SiC Graphite RTP Carrier Plate til MOCVD tilbyder overlegen varmemodstand og termisk ensartethed, hvilket gør den til den perfekte løsning til halvlederwaferbehandlingsapplikationer. Med en højkvalitets SiC-belagt grafit er dette produkt konstrueret til at modstå det hårdeste aflejringsmiljø for epitaksial vækst. Den høje termiske ledningsevne og fremragende varmefordelingsegenskaber sikrer pålidelig ydeevne til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring.