Produkter

Semicorex SiC-coated grafit wafer susceptorer er de uundværlige grafit wafer carriers dækket med en tæt og ensartet CVD SiC coating, som er konstrueret specifikt til high-end halvleder MOCVD epitaksial vækstsystemer. At vælge Semicorex betyder, at du kan opnå omkostningseffektive priser, overlegen produktkvalitet og en pålidelig serviceoplevelse.

Semicorex SiC-belagte planetariske susceptorer er højpræcisions grafitunderstøttende komponenter dækket med en tæt siliciumcarbidbelægning, specielt udviklet til det avancerede MOCVD-udstyr. De kan muliggøre ensartet gasstrøm og termisk fordeling og dermed bidrage til at skabe et optimalt epitaksielt miljø.

Semicorex Quartz Susceptor Support er designet specifikt til halvlederepitaksiale ovne. Dens højrente materialer og præcise struktur muliggør nøjagtig løft og positioneringskontrol af bakker eller prøveholdere i reaktionskammeret. Semicorex kan levere skræddersyede kvartsløsninger med høj renhed, der sikrer langsigtet ydeevnestabilitet for hver støttekomponent i højvakuum-, højtemperatur- og stærkt ætsende halvlederprocesmiljøer gennem avanceret behandlingsteknologi og stringent kvalitetskontrol.*

Semicorex 1x2" grafit wafer susceptorer er de højtydende bærende komponenter, der er specielt udviklet til 2-tommer wafers, som er velegnede til den epitaksiale proces af halvlederwafers. Vælg Semicorex for brancheførende materialerenhed, præcisionsteknik og uovertruffen pålidelighed i krævende epitaksiale vækstmiljøer.

Semicorex TaC-coated grafit wafer susceptorer er de banebrydende komponenter, der typisk anvendes til stabilt at understøtte og placere halvlederwaferne under de avancerede halvlederepitaksiale processer. Ved at udnytte state-of-the-art produktionsteknologier og moden produktionserfaring er Semicorex forpligtet til at levere de specialfremstillede TaC-coatede grafitwafer-susceptorer med markedsledende kvalitet til vores værdsatte kunder.

Semicorex CVD TaC Coated Susceptorer er højtydende grafit-susceptorer med en tæt TaC-coating, designet til at levere fremragende termisk ensartethed og korrosionsbestandighed til krævende SiC epitaksiale vækstprocesser. Semicorex kombinerer avanceret CVD-belægningsteknologi med streng kvalitetskontrol for at give langtidsholdbare susceptorer med lav kontaminering, som globale SiC epi-producenter har tillid til.*