Produkter

Semicorex SiC Coated RTP Carrier Plate til epitaksial vækst er den perfekte løsning til halvlederwafer-behandlingsapplikationer. Med sine højkvalitets carbongrafit-susceptorer og kvartsdigler behandlet af MOCVD på overfladen af ​​grafit, keramik osv., er dette produkt ideelt til waferhåndtering og epitaksial vækstbearbejdning. Den SiC-belagte bærer sikrer høj varmeledningsevne og fremragende varmefordelingsegenskaber, hvilket gør den til et pålideligt valg til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring.

Semicorex er en storstilet producent og leverandør af siliciumcarbidbelagt grafitsusceptor i Kina. Semicorex grafit susceptor udviklet specielt til epitaksi udstyr med høj varme- og korrosionsbestandighed i Kina. Vores RTP RTA SiC Coated Carrier har en god prisfordel og dækker mange af de europæiske og amerikanske markeder. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner.

Semicorex's SiC-coated ICP-komponent er designet specifikt til højtemperatur-waferhåndteringsprocesser såsom epitaksi og MOCVD. Med en fin SiC-krystalbelægning giver vores bærere overlegen varmebestandighed, jævn termisk ensartethed og holdbar kemisk resistens.

Når det kommer til waferhåndteringsprocesser som epitaksi og MOCVD, er Semicorex's High-Temperature SiC Coating til Plasma Etch Chambers det bedste valg. Vores bærere giver overlegen varmebestandighed, jævn termisk ensartethed og holdbar kemisk resistens takket være vores fine SiC-krystalbelægning.

Semicorex's SiC-plade til ICP-ætsningsproces er den perfekte løsning til høje temperaturer og skrappe kemiske behandlingskrav i tyndfilmaflejring og waferhåndtering. Vores produkt kan prale af overlegen varmebestandighed og jævn termisk ensartethed, hvilket sikrer ensartet epi-lagtykkelse og modstand. Med en ren og glat overflade giver vores højrente SiC-krystalbelægning optimal håndtering af uberørte wafers.

Semicorex SiC Coated ICP Etching Carrier udviklet specielt til epitaksiudstyr med høj varme- og korrosionsbestandighed i Kina. Vores produkter har en god prisfordel og dækker mange af de europæiske og amerikanske markeder. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.