Hjem > Produkter > Siliciumcarbid belagt > ICP Etching Carrier > SiC-belagt ICP-komponent
SiC-belagt ICP-komponent

SiC-belagt ICP-komponent

Semicorex's SiC-coated ICP-komponent er designet specifikt til højtemperatur-waferhåndteringsprocesser såsom epitaksi og MOCVD. Med en fin SiC-krystalbelægning giver vores bærere overlegen varmebestandighed, jævn termisk ensartethed og holdbar kemisk resistens.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

Semicorex' SiC-coated ICP-komponent er det bedste valg til waferhåndteringsprocesser, der kræver høj temperatur og kemisk resistens. Vores bærere giver jævne termiske profiler, laminære gasstrømningsmønstre og forhindrer forurening eller diffusion af urenheder takket være vores fine SiC-krystal. Med en fin SiC-krystalbelægning giver vores bærere overlegen varmebestandighed, jævn termisk ensartethed og holdbar kemisk resistens.
Hos Semicorex fokuserer vi på at levere omkostningseffektive produkter af høj kvalitet til vores kunder. Vores SiC-coated ICP-komponent har en prisfordel og eksporteres til mange europæiske og amerikanske markeder. Vi sigter efter at være din langsigtede partner, der leverer ensartede kvalitetsprodukter og enestående kundeservice.
Kontakt os i dag for at lære mere om vores SiC-coated ICP-komponent.


Parametre for SiC-coated ICP-komponent

Hovedspecifikationer for CVD-SIC belægning

SiC-CVD egenskaber

Krystal struktur

FCC β-fase

Tæthed

g/cm³

3.21

Hårdhed

Vickers hårdhed

2500

Kornstørrelse

μm

2~10

Kemisk renhed

%

99.99995

Varmekapacitet

J·kg-1 ·K-1

640

Sublimeringstemperatur

2700

Feleksural styrke

MPa (RT 4-punkts)

415

Youngs modul

Gpa (4pt bøjning, 1300 ℃)

430

Termisk udvidelse (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Termisk ledningsevne

(W/mK)

300


Funktioner af SiC-coated ICP-komponent

- Undgå at skalle af og sørg for belægning på alle overflader

Høj temperatur oxidationsbestandighed: Stabil ved høje temperaturer op til 1600°C

Høj renhed: Fremstillet af CVD kemisk dampaflejring under højtemperaturkloreringsbetingelser.

Korrosionsbestandighed: høj hårdhed, tæt overflade og fine partikler.

Korrosionsbestandighed: syre, alkali, salt og organiske reagenser.

- Opnå det bedste laminære gasstrømningsmønster

- Garanterer ensartethed af termisk profil

- Undgå enhver forurening eller diffusion af urenheder





Hot Tags: SiC-belagt ICP-komponent, Kina, producenter, leverandører, fabrik, tilpasset, bulk, avanceret, holdbar
Relateret kategori
Send forespørgsel
Du er velkommen til at give din forespørgsel i nedenstående formular. Vi svarer dig inden for 24 timer.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept