Semicorex RTP-bærer er siliciumcarbidbelagt ved hjælp af den kemiske dampaflejringsproces (CVD), som er virkelig stabil til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring. I kernen af halvlederprocessen udsættes epitaksi-susceptorerne først for aflejringsmiljøet, så det har høj varme- og korrosionsbestandighed. Den SiC-belagte bærer har også en høj varmeledningsevne og fremragende varmefordelingsegenskaber.
● SiC-belagt grafit med høj renhed
● Overlegen varmebestandighed og kemisk resistens
● Høj termisk ensartethed
● Fremragende slidstyrke
Semicorex RTP Carrier til MOCVD Epitaxial Growth er ideel til halvlederwaferbehandlingsapplikationer, herunder epitaksial vækst og waferhåndteringsbehandling. Carbon grafit susceptorer og kvarts digler behandles af MOCVD på overfladen af grafit, keramik osv. Vores produkter har en god prisfordel og dækker mange af de europæiske og amerikanske markeder. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgsel