SiC-belagt grafit MOCVD-susceptorer

SiC-belagt grafit MOCVD susceptorerer de væsentlige komponenter, der bruges i metal-organisk kemisk dampaflejring (MOCVD), som er ansvarlig for at holde og opvarme wafer-substrater. Med deres overlegne termiske styring, kemiske resistens og dimensionsstabilitet betragtes SiC-belagte grafit MOCVD-susceptorer som den optimale mulighed for højkvalitets wafersubstratepitaksi.

I wafer-fabrikationen er denMOCVDteknologi bruges til at konstruere epitaksiale lag på overfladen af ​​wafer-substrater, forberedelse til fremstilling af avancerede halvlederenheder. Da væksten af ​​epitaksiale lag påvirkes af flere faktorer, kan wafersubstraterne ikke placeres direkte i MOCVD-udstyret til aflejring. SiC-belagt grafit MOCVD-susceptorer er påkrævet for at holde og opvarme wafer-substraterne, hvilket skaber stabile termiske betingelser for væksten af ​​epitaksiale lag. Derfor bestemmer ydeevnen af ​​SiC-belagt grafit MOCVD-susceptorer direkte ensartetheden og renheden af ​​tyndfilmmaterialer, hvilket igen påvirker fremstillingen af ​​avancerede halvlederenheder.

Semicorex vælgerhøj renhed grafitsom matrixmateriale for dets SiC-belagte grafit MOCVD-susceptorer og derefter ensartet belægning af grafitmatricen medsiliciumcarbidbelægning via CVD-teknologi. Sammenlignet med den konventionelle teknologi forbedrer CVD-teknologien bindingsstyrken mellem siliciumcarbidbelægningen og grafitmatrixen væsentligt, hvilket resulterer i en tættere belægning med stærkere vedhæftning. Selv under den krævende ætsende højtemperaturatmosfære bevarer siliciumcarbidbelægningen sin strukturelle integritet og kemiske stabilitet over en lang periode, hvilket effektivt forhindrer direkte kontakt mellem ætsende gasser og grafitmatrixen. Dette undgår effektivt korrosion af grafitmatrixen og forhindrer grafitpartikler i at løsne og forurene wafersubstrater og epitaksiale lag, hvilket sikrer renheden og udbyttet af fremstilling af halvlederanordninger.

Fordelene ved  Semicorex's SiC-belagte grafit MOCVD-susceptorer

1. Fremragende korrosionsbestandighed

2. Høj varmeledningsevne

3. Overlegen termisk stabilitet

4. Lav termisk udvidelseskoefficient

5. Enestående modstand mod termisk stød

6. Høj overfladeglathed

7. Varig levetid