Susceptorer til MOCVD-reaktorer

Semicorex's susceptorer til MOCVD-reaktorer er produkter af høj kvalitet, der anvendes i halvlederindustrien til forskellige applikationer såsom siliciumcarbidlag og epitaksi-halvleder. Vores produkt fås i gear- eller ringform og er designet til at opnå oxidationsmodstand ved høje temperaturer, hvilket gør det stabilt ved temperaturer op til 1600°C.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

Vores susceptorer til MOCVD-reaktorer er fremstillet ved CVD-kemisk dampaflejring under højtemperatur-kloreringsbetingelser, hvilket sikrer høj renhed. Produktets overflade er tæt, med fine partikler og høj hårdhed, hvilket gør det korrosionsbestandigt over for syre, alkali, salt og organiske reagenser.
Vores susceptorer til MOCVD-reaktorer er designet til at sikre belægning på alle overflader, undgå afskalning og opnå det bedste laminære gasstrømningsmønster. Produktet garanterer ensartet termisk profil og forhindrer enhver forurening eller diffusion af urenheder under processen, hvilket sikrer resultater af høj kvalitet.
Hos Semicorex prioriterer vi kundetilfredshed og leverer omkostningseffektive løsninger. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner, der leverer produkter af høj kvalitet og enestående kundeservice.

Parametre for susceptorer til MOCVD-reaktorer

Hovedspecifikationer for CVD-SIC belægning
SiC-CVD egenskaber
Krystal struktur	FCC β-fase
Tæthed	g/cm³	3.21
Hårdhed	Vickers hårdhed	2500
Kornstørrelse	μm	2~10
Kemisk renhed	%	99.99995
Varmekapacitet	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bøjning, 1300 ℃)	430
Termisk udvidelse (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termisk ledningsevne	(W/mK)	300

Funktioner af SiC Coated Graphite Susceptor til MOCVD

- Undgå at skalle af og sørg for belægning på alle overflader
Højtemperaturoxidationsbestandighed: Stabil ved høje temperaturer op til 1600°C
Høj renhed: Fremstillet af CVD kemisk dampaflejring under højtemperaturkloreringsbetingelser.
Korrosionsbestandighed: høj hårdhed, tæt overflade og fine partikler.
Korrosionsbestandighed: syre, alkali, salt og organiske reagenser.
- Opnå det bedste laminære gasstrømningsmønster
- Garanterer ensartethed af termisk profil
- Undgå enhver forurening eller diffusion af urenheder