Semicorex er din partner til forbedring af halvlederbehandling. Vores siliciumcarbid-belægninger er tætte, høje temperatur- og kemikaliebestandige, som ofte bruges i hele cyklussen af halvlederfremstilling, herunder halvlederwafer- og waferbehandling og halvlederfremstilling.
Højrenhed SiC keramiske komponenter er afgørende for processer i halvlederen. Vores tilbud spænder lige fra forbrugsdele til waferbehandlingsudstyr, såsom siliciumcarbid waferbåd, cantilever-padler, rør osv. til Epitaxy eller MOCVD.
Fordele ved halvlederprocesser
Tyndfilmsaflejringsfaserne såsom epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsbehandling såsom ætsning eller ionimplantat skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring. Semicorex leverer højrent siliciumcarbid (SiC) konstruktion giver overlegen varmebestandighed og holdbar kemisk resistens, selv termisk ensartethed for ensartet epilags tykkelse og modstand.
Kammerlåg →
Kammerlåg, der bruges til krystalvækst og waferhåndtering, skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring.
Cantilever-pagaj →
Cantilever Paddle er en afgørende komponent, der bruges i halvlederfremstillingsprocesser, især i diffusions- eller LPCVD-ovne under processer som diffusion og RTP.
Procesrør →
Process Tube er en afgørende komponent, specielt designet til forskellige halvlederbehandlingsapplikationer såsom RTP, diffusion.
Waferbåde →
Wafer Boat bruges i halvlederbehandling, den er omhyggeligt designet til at sikre, at de sarte wafers holdes sikre under de kritiske stadier af produktionen.
Indløbsringe →
SiC-belagt gasindløbsring af MOCVD-udstyr Sammensatte vækst har høj varme- og korrosionsbestandighed, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flade keramiske vakuum wafer patroner er høj renhed SiC belagt ved brug i wafer håndteringsprocessen.
Semicorex har også keramiske produkter i aluminiumoxid (Al2O3), siliciumnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirconia (ZrO2), kompositkeramik osv.
Semicorex Vertical Silicon Boat er en kritisk komponent, der bruges i halvlederfremstillingsprocesser, Semicorex leverer tilpassede vertikale siliciumbåde med uovertruffen kvalitet og præcision, skræddersyet til at opfylde de strenge krav fra halvlederindustrien.*
Læs mereSend forespørgselSi3N4-tætningsringen fra Semicorex repræsenterer et betydeligt fremskridt inden for keramisk konstruktion, fremstillet af Si3N4, et exceptionelt uorganisk materiale. Denne keramik er kendt for sin unikke egenskab ved ikke at krympe under sintringsprocessen, hvilket sikrer dimensionsstabilitet og konsistens.
Læs mereSend forespørgselSemicorex Alumina Fastener er en integreret del af konstruktionen af udstyr, der anvendes til kemisk dampaflejring (CVD), ionimplantation, fotolitografi og halvlederfremstilling.
Læs mereSend forespørgselSemicorex SiC Pump Shaft skiller sig ud for sin uovertrufne ydeevne og pålidelighed som en integreret komponent i magnetiske pumper, skærmpumper, flertrinspumper, hydrauliske pumper, kemikaliepumper og centrifuger.
Læs mereSend forespørgselDesignet til at modstå ekstreme forhold, AlN Ceramic Crucible præsenteret af Semicorex er et uundværligt værktøj for fagfolk, der arbejder med ikke-jernholdige metaller og halvledermaterialer som galliumarsenid.
Læs mereSend forespørgselAlumina Boat by Semicorex finder sin niche i halvlederindustrien, generelle maskiner og højtemperaturprocesser, hvilket viser sig at være uundværligt for fagfolk, der søger pålidelighed og præcision.
Læs mereSend forespørgsel