Semicorex er din partner til forbedring af halvlederbehandling. Vores siliciumcarbid-belægninger er tætte, høje temperatur- og kemikaliebestandige, som ofte bruges i hele cyklussen af halvlederfremstilling, herunder halvlederwafer- og waferbehandling og halvlederfremstilling.
Højrenhed SiC keramiske komponenter er afgørende for processer i halvlederen. Vores tilbud spænder lige fra forbrugsdele til waferbehandlingsudstyr, såsom siliciumcarbid waferbåd, cantilever-padler, rør osv. til Epitaxy eller MOCVD.
Fordele ved halvlederprocesser
Tyndfilmsaflejringsfaserne såsom epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsbehandling såsom ætsning eller ionimplantat skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring. Semicorex leverer højrent siliciumcarbid (SiC) konstruktion giver overlegen varmebestandighed og holdbar kemisk resistens, selv termisk ensartethed for ensartet epilags tykkelse og modstand.
Kammerlåg →
Kammerlåg, der bruges til krystalvækst og waferhåndtering, skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring.
Cantilever-pagaj →
Cantilever Paddle er en afgørende komponent, der bruges i halvlederfremstillingsprocesser, især i diffusions- eller LPCVD-ovne under processer som diffusion og RTP.
Procesrør →
Process Tube er en afgørende komponent, specielt designet til forskellige halvlederbehandlingsapplikationer såsom RTP, diffusion.
Waferbåde →
Wafer Boat bruges i halvlederbehandling, den er omhyggeligt designet til at sikre, at de sarte wafers holdes sikre under de kritiske stadier af produktionen.
Indløbsringe →
SiC-belagt gasindløbsring af MOCVD-udstyr Sammensatte vækst har høj varme- og korrosionsbestandighed, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flade keramiske vakuum wafer patroner er høj renhed SiC belagt ved brug i wafer håndteringsprocessen.
Semicorex har også keramiske produkter i aluminiumoxid (Al2O3), siliciumnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirconia (ZrO2), kompositkeramik osv.
Semicorex SiC Wafer Boats er avancerede komponenter, som er omhyggeligt designet til halvlederfremstilling, specifikt i diffusions- og termiske processer. Med vores faste forpligtelse til at levere produkter af høj kvalitet til konkurrencedygtige priser, er vi klar til at blive din langsigtede partner i Kina.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex Wafer Boat er en kritisk komponent i halvlederfremstillingsprocessen, specielt designet til brug i diffusionsprocessen, hvor den spiller en afgørende rolle i skabelsen af højt integrerede kredsløb. Med vores faste forpligtelse til at levere produkter af høj kvalitet til konkurrencedygtige priser, er vi klar til at blive din langsigtede partner i Kina.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex Ceramic Electrostatic Chuck (ESC) er et specialiseret værktøj, der er omhyggeligt udformet til at imødekomme de strenge krav til halvlederfremstilling. Med vores faste forpligtelse til at levere produkter af høj kvalitet til konkurrencedygtige priser, er vi klar til at blive din langsigtede partner i Kina.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex Electrostatic Chuck (ESC) er en avanceret komponent, der bruges i halvlederfremstilling, designet til sikkert at holde halvlederwafere under forskellige behandlingsstadier. Med vores forpligtelse til at levere produkter af høj kvalitet til konkurrencedygtige priser, er vi klar til at være din langsigtede partner i Kina.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex Silicon Carbide Wafer Chuck er en væsentlig komponent i halvlederepitaksialprocessen. Den fungerer som en vakuumpatron til sikkert at holde wafers under kritiske produktionsstadier. Vi er forpligtet til at levere topkvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser og positionere os selv til at være din langsigtede partner i Kina.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex SiC Ceramic Chuck er en højt specialiseret komponent designet til brug i halvlederepitaksiale processer, hvor dens rolle som vakuumpatron er afgørende. Med vores forpligtelse til at levere produkter af høj kvalitet til konkurrencedygtige priser, er vi klar til at være din langsigtede partner i Kina.*
Læs mereSend forespørgsel