Semicorex er din partner til forbedring af halvlederbehandling. Vores siliciumcarbid-belægninger er tætte, høje temperatur- og kemikaliebestandige, som ofte bruges i hele cyklussen af halvlederfremstilling, herunder halvlederwafer- og waferbehandling og halvlederfremstilling.
Højrenhed SiC keramiske komponenter er afgørende for processer i halvlederen. Vores tilbud spænder lige fra forbrugsdele til waferbehandlingsudstyr, såsom siliciumcarbid waferbåd, cantilever-padler, rør osv. til Epitaxy eller MOCVD.
Fordele ved halvlederprocesser
Tyndfilmsaflejringsfaserne såsom epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsbehandling såsom ætsning eller ionimplantat skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring. Semicorex leverer højrent siliciumcarbid (SiC) konstruktion giver overlegen varmebestandighed og holdbar kemisk resistens, selv termisk ensartethed for ensartet epilags tykkelse og modstand.
Kammerlåg →
Kammerlåg, der bruges til krystalvækst og waferhåndtering, skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring.
Cantilever-pagaj →
Cantilever Paddle er en afgørende komponent, der bruges i halvlederfremstillingsprocesser, især i diffusions- eller LPCVD-ovne under processer som diffusion og RTP.
Procesrør →
Process Tube er en afgørende komponent, specielt designet til forskellige halvlederbehandlingsapplikationer såsom RTP, diffusion.
Waferbåde →
Wafer Boat bruges i halvlederbehandling, den er omhyggeligt designet til at sikre, at de sarte wafers holdes sikre under de kritiske stadier af produktionen.
Indløbsringe →
SiC-belagt gasindløbsring af MOCVD-udstyr Sammensatte vækst har høj varme- og korrosionsbestandighed, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flade keramiske vakuum wafer patroner er høj renhed SiC belagt ved brug i wafer håndteringsprocessen.
Semicorex har også keramiske produkter i aluminiumoxid (Al2O3), siliciumnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirconia (ZrO2), kompositkeramik osv.
Semicorex SiC keramisk plade tilbyder uovertruffen ydeevne i miljøer, der kræver slidstyrke, korrosionsbestandighed og stabilitet ved høje temperaturer. Dette produkt er designet til brug som foringsplader og støttedele på tværs af en række krævende applikationer.
Læs mereSend forespørgselSemicorex AlN Ceramic Disc skiller sig ud som et materiale med enestående kapacitet, værdsat for sin unikke kombination af termiske, mekaniske og elektriske egenskaber. Hos Semicorex er vi på forkant med fremstilling af AlN keramiske diske, hvilket sikrer, at disse komponenter opfylder de strenge krav fra moderne teknologi og industrielle applikationer.**
Læs mereSend forespørgselSi3N4 Sleeve fra Semicorex er et alsidigt og højtydende materiale, der tilbyder en unik kombination af lav tæthed, overlegen hårdhed, fremragende slidstyrke og enestående termisk og kemisk stabilitet.**
Læs mereSend forespørgselSemicorex Porous Ceramic Vacuum Chucks primære funktion ligger i dens evne til at give ensartet luft- og vandpermeabilitet, en funktion, der sikrer en jævn fordeling af stress og robust vedhæftning af siliciumwafers. Denne egenskab er afgørende under slibningsprocessen, da den forhindrer waferen i at glide og derved opretholder operationens integritet.**
Læs mereSend forespørgselSemicorex Alumina Tube er en central komponent i en række industrielle applikationer, kendt for sin evne til at modstå barske miljøer og høje temperaturer.**
Læs mereSend forespørgselPBN Ceramic Disc fra Semicorex er syntetiseret gennem en indviklet kemisk dampaflejringsproces (CVD) ved at bruge bortrichlorid (BCl3) og ammoniak (NH3) ved høje temperaturer og lave tryk. Denne syntesemetode resulterer i et materiale med enestående renhed og strukturel integritet, hvilket gør det uundværligt til en række forskellige anvendelser inden for halvlederindustrien.**
Læs mereSend forespørgsel