Semicorex er din partner til forbedring af halvlederbehandling. Vores siliciumcarbid-belægninger er tætte, høje temperatur- og kemikaliebestandige, som ofte bruges i hele cyklussen af halvlederfremstilling, herunder halvlederwafer- og waferbehandling og halvlederfremstilling.
Højrenhed SiC keramiske komponenter er afgørende for processer i halvlederen. Vores tilbud spænder lige fra forbrugsdele til waferbehandlingsudstyr, såsom siliciumcarbid waferbåd, cantilever-padler, rør osv. til Epitaxy eller MOCVD.
Fordele ved halvlederprocesser
Tyndfilmsaflejringsfaserne såsom epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsprocesser såsom ætsning eller ionimplantat skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring. Semicorex leverer højrent siliciumcarbid (SiC) konstruktion giver overlegen varmebestandighed og holdbar kemisk resistens, selv termisk ensartethed for ensartet epilags tykkelse og modstand.
Kammerlåg →
Kammerlåg, der bruges til krystalvækst og waferhåndtering, skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring.
Cantilever-pagaj →
Cantilever Paddle er en afgørende komponent, der bruges i halvlederfremstillingsprocesser, især i diffusions- eller LPCVD-ovne under processer som diffusion og RTP.
Procesrør →
Process Tube er en afgørende komponent, specielt designet til forskellige halvlederbehandlingsapplikationer såsom RTP, diffusion.
Waferbåde →
Wafer Boat bruges i halvlederbearbejdning, den er omhyggeligt designet for at sikre, at de sarte wafers holdes sikre under de kritiske stadier af produktionen.
Indløbsringe →
SiC-belagt gasindløbsring af MOCVD-udstyr Sammensatte vækst har høj varme- og korrosionsbestandighed, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flade keramiske vakuum wafer patroner er høj renhed SiC belagt ved brug i wafer håndteringsprocessen.
Semicorex har også keramiske produkter i aluminiumoxid (Al2O3), siliciumnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirconia (ZrO2), kompositkeramik osv.
Semicorex PBN-varmere kan prale af et sofistikeret tre-lags design, der er udviklet til at omdefinere ydeevnebenchmarks. I sin kerne ligger et fundament lavet af højrent pyrolytisk bornitrid (PBN), kendt for sin enestående termiske ledningsevne og robuste strukturelle integritet. vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselSemicorex Wafer Boat Carrier står som et højdepunkt af innovation inden for halvlederbehandling. Denne bærer er omhyggeligt udformet af grafit og forstærket med en banebrydende belægning af kemisk dampaflejring (CVD) siliciumcarbid (SiC), og eksemplificerer præcisionsteknik og avanceret materialevidenskab. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselSemicorex Baffle Wafer Boat er et meget avanceret stykke udstyr, der bruges til halvlederbehandling. Den er omhyggeligt designet for at sikre, at de sarte vafler holdes sikre under de kritiske stadier af produktionen. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselSemicorex SiC Vacuum Chuck repræsenterer et højdepunkt af præcisionsteknik, der er skræddersyet til den krævende halvlederindustri. Fremstillet af grafitsubstrater og forbedret gennem avancerede kemiske dampaflejringsteknikker (CVD) integrerer denne innovative enhed problemfrit de uovertrufne egenskaber af siliciumcarbid (SiC) belægning. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselSemicorex SiC Wafer Chuck står som et højdepunkt af innovation inden for halvlederfremstilling, der fungerer som en afgørende komponent i den indviklede proces med halvlederfremstilling. Udformet med omhyggelig præcision og banebrydende teknologi, spiller denne borepatron en uundværlig rolle i at støtte og stabilisere siliciumcarbid (SiC) wafere under forskellige produktionsstadier. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselSemicorex Zirconia ZrO2 Robot Arm, en vital komponent i halvlederbehandling til sømløs waferoverførsel og håndtering. Denne keramiske arm er designet til at modstå de strenge krav fra høje temperaturer, ætsende og slibende miljøer, og den kan prale af enestående holdbarhed og pålidelighed. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgsel