Semicorex er din partner til forbedring af halvlederbehandling. Vores siliciumcarbid-belægninger er tætte, høje temperatur- og kemikaliebestandige, som ofte bruges i hele cyklussen af halvlederfremstilling, herunder halvlederwafer- og waferbehandling og halvlederfremstilling.
Højrenhed SiC keramiske komponenter er afgørende for processer i halvlederen. Vores tilbud spænder lige fra forbrugsdele til waferbehandlingsudstyr, såsom siliciumcarbid waferbåd, cantilever-padler, rør osv. til Epitaxy eller MOCVD.
Fordele ved halvlederprocesser
Tyndfilmsaflejringsfaserne såsom epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsbehandling såsom ætsning eller ionimplantat skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring. Semicorex leverer højrent siliciumcarbid (SiC) konstruktion giver overlegen varmebestandighed og holdbar kemisk resistens, selv termisk ensartethed for ensartet epilags tykkelse og modstand.
Kammerlåg →
Kammerlåg, der bruges til krystalvækst og waferhåndtering, skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring.
Cantilever-pagaj →
Cantilever Paddle er en afgørende komponent, der bruges i halvlederfremstillingsprocesser, især i diffusions- eller LPCVD-ovne under processer som diffusion og RTP.
Procesrør →
Process Tube er en afgørende komponent, specielt designet til forskellige halvlederbehandlingsapplikationer såsom RTP, diffusion.
Waferbåde →
Wafer Boat bruges i halvlederbehandling, den er omhyggeligt designet til at sikre, at de sarte wafers holdes sikre under de kritiske stadier af produktionen.
Indløbsringe →
SiC-belagt gasindløbsring af MOCVD-udstyr Sammensatte vækst har høj varme- og korrosionsbestandighed, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flade keramiske vakuum wafer patroner er høj renhed SiC belagt ved brug i wafer håndteringsprocessen.
Semicorex har også keramiske produkter i aluminiumoxid (Al2O3), siliciumnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirconia (ZrO2), kompositkeramik osv.
Semicorex siliciumcarbidventil er en vital komponent i forskellige industrielle applikationer, der tilbyder uovertruffen korrosionsbestandighed, temperaturudholdenhed og mekanisk modstandskraft. Den er velegnet til industrier lige fra petrokemiske til biofarmaceutiske, og sikrer effektiv og pålidelig drift i selv de mest udfordrende miljøer.
Læs mereSend forespørgselPBN Electrostatic Chuck fra Semicorex skiller sig ud inden for waferhåndtering i halvlederfremstilling på grund af dens unikke materialeegenskaber.
Læs mereSend forespørgselSilicon Nitride Roller, præsenteret af Semicorex, er fremstillet af gastryksintret siliciumnitrid (Si3N4), et højtydende keramisk materiale.
Læs mereSend forespørgselSemicorex SiC roterende tætningsring er designet til at fungere under høje tryk og høje temperaturforhold. Dens stabilitet og holdbarhed i sådanne miljøer gør den til en uvurderlig komponent i tætningsapplikationer, hvor traditionelle materialer kan svigte.
Læs mereSend forespørgselSemicorex SiC Robot Arm er en højtydende siliciumcarbid keramisk robotarm designet til præcision og holdbarhed i halvlederfremstillingsprocesser. Vælg Semicorex for vores ekspertise i at levere innovative, pålidelige og højkvalitetsløsninger, der er skræddersyet til halvlederindustriens behov.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex SiC både er højtydende siliciumcarbid keramiske waferholdere designet til præcision og holdbarhed i diffusionsprocesser. Vælg Semicorex for uovertruffen kvalitet, brancheekspertise og skræddersyede løsninger, der optimerer din produktionseffektivitet.*
Læs mereSend forespørgsel