Wafer Carriers med SiC Coating

Semicorex Wafer Carriers med SiC Coating, en integreret del af det epitaksiale vækstsystem, er kendetegnet ved dens exceptionelle renhed, modstandsdygtighed over for ekstreme temperaturer og robuste forseglingsegenskaber, der fungerer som bakke, der er essentiel til støtte og opvarmning af halvlederwafere under kritisk fase af epitaksial lagaflejring, hvorved den overordnede ydeevne af MOCVD-processen optimeres. Vi hos Semicorex er dedikerede til at fremstille og levere højtydende Wafer Carriers med SiC Coating, der forener kvalitet med omkostningseffektivitet.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

Semicorex Wafer Carriers med SiC Coating udviser enestående termisk stabilitet og ledningsevne, hvilket er afgørende for at opretholde ensartede temperaturer under kemiske dampaflejringsprocesser (CVD). Dette sikrer ensartet varmefordeling over substratet, hvilket er afgørende for at opnå højkvalitets tyndfilm og belægningsegenskaber.

Wafer Carriers med SiC Coating er fremstillet efter strenge standarder, hvilket sikrer ensartet tykkelse og overfladeglathed. Denne præcision er afgørende for at opnå ensartede afsætningshastigheder og filmegenskaber på tværs af flere wafere.

SiC-belægningen fungerer som en uigennemtrængelig barriere, der forhindrer diffusion af urenheder fra susceptoren ind i waferen. Dette minimerer risikoen for kontaminering, hvilket er afgørende for fremstilling af højrente halvlederenheder. Deres holdbarhed af Semicorex Wafer Carriers med SiC Coating reducerer hyppigheden af susceptorudskiftning, hvilket fører til lavere vedligeholdelsesomkostninger og minimeret nedetid i halvlederproduktionsoperationer.

Semicorex Wafer Carriers med SiC Coating kan tilpasses til at opfylde specifikke proceskrav, herunder variationer i størrelse, form og belægningstykkelse. Denne fleksibilitet giver mulighed for optimering af susceptoren for at matche de unikke krav fra forskellige halvlederfremstillingsprocesser. Tilpasningsmuligheder muliggør udvikling af susceptordesigns, der er skræddersyet til specialiserede applikationer, såsom højvolumenproduktion eller forskning og udvikling, hvilket sikrer optimal ydeevne til specifikke anvendelsestilfælde.