6 tommer SiC båd

Semicorex 6 Inch SiC Boat er en avanceret wafer-bærer designet til at optimere ydeevnen og effektiviteten af ​​højtemperatur-halvlederbehandling, specifikt til applikationer som oxidation, diffusion og andre termiske processer. Fremstillet af højkvalitets siliciumcarbid (SiC) tilbyder dette produkt en robust løsning til at holde halvlederwafere under kritiske højtemperaturoperationer, hvilket giver overlegen termisk stabilitet, fremragende korrosionsbestandighed og minimal forureningsrisiko.

6 tommer SiC-båden er fremstillet ved hjælp af højrent siliciumcarbid (SiC), et materiale kendt for dets enestående termiske egenskaber, kemisk resistens og holdbarhed i barske miljøer. SiC er meget udbredt i halvlederfremstilling på grund af dets høje smeltepunkt (ca. 2.700°C), hvilket gør det ideelt til højtemperaturapplikationer såsom waferbehandling i oxidations- og diffusionsovne. Bådens design sikrer fremragende strukturel integritet og ensartet varmefordeling, som er afgørende for at opnå ensartede resultater i halvlederkrystalvækst, oxidation og andre termiske behandlinger.

Nøglefunktioner og fordele

Høj termisk stabilitet

SiCs enestående termiske ledningsevne sikrer, at 6-tommer SiC-båden kan modstå ekstreme temperaturer uden at vride eller nedbrydes. Denne egenskab er især værdifuld under oxidations- og diffusionsprocesser, hvor præcis temperaturkontrol er afgørende for ensartet wafer-behandling.

Fremragende kemisk resistens

Siliciumcarbids iboende modstand mod kemisk korrosion gør båden ideel til brug i miljøer, hvor eksponering for aggressive gasser, såsom oxygen, nitrogen eller andre reaktive elementer, er almindelig. Båden bevarer sin strukturelle integritet og ydeevne i høje temperaturer, kemisk reaktive miljøer, hvilket reducerer sandsynligheden for kontaminering.

Holdbarhed ved høj temperatur

6 tommer SiC-båden er konstrueret til at fungere i temperaturer op til 1.500°C, et krav til mange højtemperaturhalvlederprocesser, herunder oxidation og diffusion. Denne høje temperaturtolerance sikrer en lang levetid selv i krævende applikationer.

Lav forureningsrisiko

En af de kritiske faktorer i halvlederbehandling er at minimere forurening af waferoverfladen. SiCs lave urenhedsniveauer og ikke-reaktive natur sikrer, at 6 Tommer SiC-båden bidrager til et rent og kontrolleret miljø, og derved reducerer risikoen for uønsket forurening under forarbejdningen.

Ensartet waferstøtte

Bådens design sikrer, at wafers understøttes ensartet, opretholder optimal wafer-justering og forhindrer nedbøjning eller fejljustering under højtemperaturbehandling. Denne ensartede støtte er afgørende for at sikre ensartede resultater og forhindre wafer-defekter.

Tilpasningsmuligheder

6 tommer SiC-båden kan tilpasses til at passe til specifikke kundekrav, herunder skræddersyede størrelser, former og konfigurationer til forskellige wafertyper. Uanset om den bruges til oxidation, diffusion eller andre termiske processer, kan båden optimeres til kundens særlige procesflow.

Anvendelser i halvlederfremstilling

6 tommer SiC-båden bruges primært i højtemperatur termiske processer i halvlederfremstilling. Den er især effektiv i oxidations- og diffusionsovne, hvor der kræves præcis styring af temperatur og atmosfære for en vellykket waferbehandling.

• Oxidationsproces: Under oxidationsprocessen udsættes siliciumwafers for oxygen ved forhøjede temperaturer for at danne et tyndt siliciumdioxidlag på waferoverfladen. 6 tommer SiC-båden sikrer, at waferne holdes sikkert og jævnt under denne højtemperaturproces, hvilket forhindrer deformation eller fejljustering og sikrer ensartet oxidlagsvækst.
• Diffusionsproces: I diffusionsprocessen indføres doteringsmidler i siliciumwaferen for at modificere dens elektriske egenskaber. SiC-båden giver stabil og pålidelig støtte til waferne under dette kritiske trin, hvor høje temperaturer og præcis kontrol af diffusionsmiljøet er altafgørende. Dens fremragende termiske stabilitet sikrer ensartet opvarmning, hvilket er afgørende for at opnå den ønskede dopingprofil.
• Andre højtemperaturapplikationer: Ud over oxidation og diffusion kan 6 tommer SiC-båden bruges i andre højtemperaturprocesser, såsom udglødning, nitridering og epitaksial vækst. Dens høje termiske ledningsevne og modstandsdygtighed over for termisk stød gør den til en alsidig løsning til forskellige stadier af fremstilling af halvlederenheder.

Fordele i forhold til andre materialer

Sammenlignet med traditionelle materialer som kvarts eller grafit giver siliciumcarbid betydelige fordele ved fremstilling af halvledere. Kvartsbåde er mere modtagelige for termisk chok og kemiske reaktioner, mens grafitbåde kan udgasse og indføre forurening. SiC-både bevarer på den anden side deres ydeevne i barske miljøer uden risiko for forurening, termisk ustabilitet eller nedbrydning. Dette gør 6 tommer SiC-båden til et mere pålideligt og effektivt valg til højtemperatur-halvlederbehandling.

Semicorex 6 Inch SiC Boat er en kritisk komponent i halvlederindustrien, der giver den nødvendige stabilitet, kemiske resistens og termiske ydeevne, der kræves til avanceret waferbehandling. Dens høje termiske ledningsevne, modstandsdygtighed over for kemisk korrosion og minimal forureningsrisiko gør den til det ideelle valg til oxidation, diffusion og andre højtemperaturhalvlederprocesser. Uanset om den bruges i forskning og udvikling eller produktion i stor skala, leverer 6-tommer SiC-båden den ydeevne og pålidelighed, der er nødvendig for at sikre de højeste kvalitetsresultater i halvlederfremstilling.