Aluminiumoxid keramisk slutningseffektor

Semicorex aluminiumoxid keramisk slutningseffektor er et vigtigt værktøj i automatiserede skiveoverførselssystemer, der tilbyder uovertruffen mekanisk styrke, termisk stabilitet og kemisk resistens. Fremstillet ved hjælp af høj renhedaluminiumoxid (al₂o₃) keramik, er denne slutningseffektor konstrueret til at imødekomme de strenge krav til Wafer -behandlingsmiljøer, hvor præcision, renlighed og holdbarhed er vigtigst.

Semiconductor Robot Arms er en af de vigtige dele af halvlederudstyr. De er normalt sammensat af controllere, drivere, arme og slutningseffektorer. De er kendetegnet ved høj renlighed, høj stabilitet, høj præcision, høj effektivitet og høj pålidelighed. Halvlederrobotter bruges hovedsageligt i front-end-processen med halvlederproduktion til at transportere, transportere og placere halvlederskiver.

Den keramiske struktur med aluminiumoxidindhold, der typisk er større end 99,5%, vil give overlegen hårdhed og slidstyrke for gentagne bevægelser i miljøer med høj præcision uden nedbrydning over tid. Den høje termiske ledningsevne og den lave termiske ekspansion af aluminiumoxid giver mulighed for dimensionel stabilitet i miljøer med forhøjet temperatur, en nødvendighed i de fleste renrumsoperationer i halvledere, såsom i en etter, deponering, inspektion eller rengøringsværktøj.

Dealuminiumoxid keramikSlutdeffektor har en bemærkelsesværdig karakteristisk overfladefinish, der er glat og har lav porøsitet, hvilket gør den nær nul partikler genereret og minimering eller nuleffekt på forurenende stoffer under Wafer -håndtering. Derudover er aluminiumoxid kemisk inert. Dette betyder, at det ikke reagerer med nogen af procesgasserne og enhver procesvæsker, som skiven er i kontakt med. Dette beskytter skiven og enhver forurening til sig selv og udstyr mod alt, hvad der kan forårsage korrosion.

De bruges generelt som sluteffektorer eller en klemmemekanisme til robotarme eller overførselsmoduler i wafer -fabrikationsudstyr og udstyr som et etter eller deponeringsværktøj, inspektion eller rengøringsværktøj med præcise slots, riller eller vakuumkanaler, der fanger den faktiske skivestørrelse, hvad enten det er 100 mm, 200 mm eller 300 mm og overførsel af wafers og fangst for at udskifte. Sluteffektorer vil typisk håndtere skiveroverførsler hastigheder ved 25 cm/sekund.

Tilpasningsmuligheder findes i retning af designet til specifikke udstyrsgrænseflader eller skivestørrelser. Den strukturelle stivhed af aluminiumoxid giver mulighed for tynde og lette profiler, der minimerer håndteringssystemets samlede masse og fører til hurtigere responstider. Nogle konfigurationer kan også tilføje antistatiske eller isolerende komponenter for at give yderligere beskyttelse til de følsomme elektroniske underlag.

Generelt giver aluminiumoxid -keramisk slutningseffektor en effektiv løsning, der fremmer forbedret udbytte og reduceret kontaminering, hvor operationel pålidelighed er nøgleelementer for Wafer -behandlingslinjen. Med sine holdbarheds- og fysiske ydelsesegenskaber adskiller de effektive og omkostningseffektive aluminiumoxid-keramiske slutningseffektor sig som et populært valg blandt producenter af halvlederudstyr og FAB'er, der kræver strenge produktionsstandarder i et ultra-renset miljø.