Batch wafer båd

Semicorex leverer waferbåde, piedestaler og brugerdefinerede waferholdere til både lodrette/søjle og horisontale konfigurationer. Vi har været producent og leverandør af siliciumcarbidbelægningsfilm i mange år. Vores Batch Wafer Boat har en god prisfordel og dækker de fleste af de europæiske og amerikanske markeder. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

Semicorex Batch Wafer Boat er lavet af højkvalitets siliciumcarbid keramisk materiale for overlegen kemisk resistens og termisk stabilitet.
Vores Batch Wafer Boat har en glat overfladefinish og giver fremragende waferstøtte og beskyttelse under forarbejdning. SiC-belægningen sikrer ensartethed og stabilitet under forarbejdning og beskytter waferne mod forurening og beskadigelse. Med fremragende termisk ledningsevne og overlegen mekanisk styrke giver vores waferholdere ensartede og pålidelige resultater.
Vores team af eksperter er forpligtet til at levere den bedste kvalitet og service. Vi tilbyder brugerdefinerede designs, der opfylder dine specifikke krav, og vores batch wafer-både understøttes af vores kvalitetssikringsprogram.

Parametre for Batch Wafer Boat

Tekniske egenskaber
Indeks	Enhed	Værdi
Materiale navn		Reaktionssintret siliciumcarbid	Trykløs sintret siliciumcarbid	Omkrystalliseret siliciumcarbid
Sammensætning		RBSiC	SSiC	R-SiC
Bulkdensitet	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Bøjestyrke	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100 (1400°C)
Kompressionsstyrke	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Hårdhed	Knap	2700	2800	/
Breaking Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Termisk ledningsevne	W/m.k	95	120	23
Termisk udvidelseskoefficient	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Specifik varme	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Max temperatur i luft	℃	1200	1500	1600
Elastikmodul	Gpa	360	410	240

Forskellen mellem SSiC og RBSiC:

1. Sintringsprocessen er anderledes. RBSiC skal infiltrere fri Si i siliciumcarbid ved lav temperatur, SSiC dannes ved naturligt svind ved 2100 grader.

2. SSiC har glattere overflade, højere tæthed og højere styrke, for nogle tætninger med strengere overfladekrav vil SSiC være bedre.

3. Forskellig brugt tid under forskellig PH og temperatur, SSiC er længere end RBSiC

Funktioner af Batch Wafer Boat

- Høj styrke (Mohs hårdhed 9,5, kun næst efter diamant)
- Korrosionsbestandighed over for syrer, baser, salte og organiske opløsningsmidler
- Høj varmeledningsevne, plasmamodstand, lang levetid
- Halvledere