> Produkter > Keramisk > Siliciumcarbid (SiC) > Holdbare fokusringe til halvlederbehandling

Produkter

Nye produkter

Holdbare fokusringe til halvlederbehandling

Semicorex holdbare fokusringe til halvlederbehandling er designet til at modstå de ekstreme miljøer i plasmaætsningskamre, der bruges til halvlederbehandling. Vores fokusringe er lavet af højrent grafit belagt med en tæt, slidbestandig siliciumcarbid (SiC) belægning. SiC-belægningen har høje korrosions- og varmebestandighedsegenskaber samt fremragende varmeledningsevne. Vi påfører SiC i tynde lag på grafitten ved hjælp af den kemiske dampaflejring (CVD) proces for at forbedre levetiden for vores fokusringe.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

Vores holdbare fokusringe til halvlederbehandling er designet til at forbedre ætsningens ensartethed rundt om waferkanten eller omkredsen, hvilket minimerer kontaminering og uplanlagt vedligeholdelse. De er meget stabile til hurtig termisk udglødning (RTA), hurtig termisk behandling (RTP) og hård kemisk rengøring.

Hos Semicorex fokuserer vi på at levere højkvalitets, omkostningseffektive holdbare fokusringe til halvlederbehandling, vi prioriterer kundetilfredshed og leverer omkostningseffektive løsninger. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner, der leverer produkter af høj kvalitet og enestående kundeservice.

Kontakt os i dag for at lære mere om vores holdbare fokusringe til halvlederbehandling.

Parametre for holdbare fokusringe til halvlederbehandling

Hovedspecifikationer for CVD-SIC belægning
SiC-CVD egenskaber
Krystal struktur	FCC β-fase
Tæthed	g/cm³	3.21
Hårdhed	Vickers hårdhed	2500
Kornstørrelse	μm	2~10
Kemisk renhed	%	99.99995
Varmekapacitet	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bøjning, 1300 ℃)	430
Termisk udvidelse (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termisk ledningsevne	(W/mK)	300