Horisontal kammerovn Sic Boats

Semicorex Horisontal Chamber Furnace Sic Boats er en meget konstrueret del, der holder og bærer skiver eller underlag, mens de udsættes for termisk behandling med høj temperatur i en vandret kammerovn. Wafer-båden er lavet af sic bundet med høj renhed Siliciumcarbid (sic), der tilvejebringer den unikke kombination af styrke, termisk stabilitet og høj kemisk resistens, der kræves i halvleder, fotovoltaiske og avancerede keramikprocesser. Wafer -båden fungerer også som en stiv struktur til at holde skiver i position, den dimensionelle stabilitet og præcisionen af ​​skiverne vil ikke gå tabt ved udvidet eksponering for de ekstreme processtemperaturer.

De overlegne egenskaber ved siliciumcarbid tilvejebringer den vandrette kammerovns SIC -både en overlegen ydelsesfordel sammenlignet med typiske materialer til waferbåde såsom kvarts eller aluminiumoxid. De kan bedre modstå sjældne opvarmnings- og afkølingscyklusser på kort varighed på grund af deres høje smeltepunkt, termisk chokresistens og mekanisk styrke, uanset hastigheden for opvarmning og afkøling eller ekstremer i den termiske cyklus. Da en vandret ovn helt er afhængig af konsistensen af ​​skivernes positioner og eksponering af procesforhold, giver korrekt justering af skiver mulighed for ensartet procesudbytte og gentagelighed. Den lave koefficient for termisk ekspansion betyder, at båden ikke vil fordreje over dens levetid og give tilbageholdt form og afstand af skiverne.

Den finkornede, tætte struktur af omkrystalliseret SIC giver bemærkelsesværdig modstand mod oxidation, korrosion og kontaminering efter procesgasser og biprodukter. Dette gør båden særlig fordelagtig til processer i aggressive atmosfærer såsom diffusion, oxidation, LPCVD og udglødning. SIC's høje kemiske inerthed undgår reaktioner med skiveoverfladerne, hvilket bevarer produktrenhed og minimerer partikelgenerering i ovnen. SIC -både kan hjælpe producenter, der har brug for at imødekomme strenge renhedskrav, give renere behandlingsmiljøer og forbedret skivkvalitet.

Disse både kan produceres med forskellige komplekse geometrier og delspecifikke dimensioner med præcisionsbearbejdning og dannelsesteknikker. Designerne bruger generelt flere parallelle slots/riller til at holde skiverne sikkert i en vandret orientering og udsætter ensartet hele skivenoverfladen for termiske forhold. Slot-to-slot-afstand og vinkler kan også optimeres til at passe skiver af andre diametre, såsom 150 mm, 200 mm eller 300 mm, og direkte luftstrøm under behandlingseffekter, mens den stadig opnår temperaturuniformitet til behandling.

Ikke kun kan de vandrette kammerovns-sic-både designes i standardafgange, men de kan designes til at arbejde med automatiserede waferlæsere, hvilket resulterer i en problemfri integration i moderne produktionslinjer med høj kapacitet. Det robuste design vil også gøre bådene mindre tilbøjelige til at chip eller bryde under håndtering og reducere nedetid og omkostninger til udskiftninger.

Den termiske ledningsevne afSiliciumcarbidRepræsenterer en anden vigtig fordel, der letter effektiv varmeoverførsel mellem skiverne og ovnmiljøet. Fordelen er, at producenterne er i stand til at opnå mere ensartede behandlingsbetingelser og forkorte cyklustider, hvilket kan øge produktionseffektiviteten. SIC -både giver ensartede og gentagne resultater, uanset om de bruges til fremstilling af halvledervask, solcelleproduktion eller andre avancerede materialer til forhøjede temperaturer.

Sammenfattende er de horisontale kammerovns-sic-både en nøglekomponent for producenter, der ønsker at producere skiver med en højtydende, langvarig og forureningsbestandig skivebærere. Det har en mekanisk styrke, termisk stabilitet og kemisk inertitet, der er uovertruffen i horisontale ovneapplikationer. Ved at vælge siliciumcarbidbåde kan operatører udnytte bedre processtyring, højere udbytter og minimere operationelle afbrydelser på grund af vedligeholdelse. Generelt giver det mere effektive, omkostningseffektive produktioner.