Vandrette siliciumcarbidbåde

Semicorex vandretsiliciumcarbid bådeer integreret dannet ved hjælp af 3D-printteknologi og derefter fremstillet ved højtemperatursintring. Disse komponenter, der er designet til at passe til forskellige vandrette højtemperaturovnsstørrelser, anvendes i vid udstrækning for at sikre fastholdelse af wafere i kritiske højtemperaturhalvlederfremstillingsprocesser, herunder diffusion, oxidation og kemisk dampaflejring.

Fysisk-kemiske egenskaber af siliciumcarbid

Fordelene ved Semicorex horisontal siliciumcarbidbåds

1. Stabil støtte og position

Den uovertrufne materialestyrke og hårdhed giver Semicorex horisontale siliciumcarbidbåde fremragende støttekapacitet, som gør dem i stand til stabilt at bære flere wafere samtidigt. Gennem præcisionsspaltebearbejdning kan Semicorex horisontale siliciumcarbidbåde fast fiksere og sikkert holde halvlederwafere. Den jævnt fordelte spaltestruktur sikrer, at wafere bevarer en fast position gennem hele forarbejdningscyklussen og garanterer derved konsistensen og præcisionen af ​​halvlederfremstillingsprocesser.

2.Kompatibilitet med komplekse driftsforhold

Takket være deres overlegne højtemperaturbestandighed og korrosionsbestandighed er Semicorex horisontale siliciumcarbidbåde i stand til at modstå strenge driftsmiljøer, såsom højtemperaturatmosfære af oxygen, nitrogen eller lavkoncentreret hydrogenchlorid. Disse usædvanlige materialeegenskaber kan effektivt forhindre korrosion og skader forårsaget af ætsende gasser ved høje temperaturer, hvilket i høj grad forlænger bådenes driftslevetid.

3. Enestående renhedsydelse

Forskellig fra konventionelle siliciumcarbid-belagte grafitbåde er Semicorex horisontale siliciumcarbidbåde fremstillet af halvleder-kvalitet, høj renhedsiliciumcarbid(99,999%) med ultralavt indhold af urenheder. Dette førsteklasses materialevalg eliminerer risikoen for afgasning af forurenende stoffer eller afskalning af belægningen, selv når de udsættes for høje temperaturer og barske korrosive miljøer. Derudover udsættes hver af vores siliciumcarbidbåde for strenge ultralydsrensningsprocesser før vakuumpakning, hvilket garanterer overholdelse af de renhedsstandarder, der kræves af avancerede halvlederfremstillingsprocesser.