Nyheder

Overfladebehandling til high-end elektrostatisk chuck

Den elektrostatiske Chuck udfører flere funktioner såsom ensartet elektrostatisk udladning, varmeledning og waferadsorption og fiksering inden for halvlederfremstilling. En af kernefunktionerne i ESC er stabilt at adsorbere wafere under ekstreme driftsforhold såsom højt vakuum, stærkt plasma og et b......

Hvad er dopingproces?

Ved fremstilling af wafere med ultrahøj renhed skal wafere nå en renhedsstandard på over 99,999999999 % for at sikre halvlederes grundlæggende egenskaber. Paradoksalt nok, for at opnå den funktionelle konstruktion af integrerede kredsløb, skal specifikke urenheder indføres lokalt på overfladen af ​​......

Keramisk vakuumpatron

Keramiske vakuumpatroner er lavet af porøse keramiske materialer med ensartet porestørrelsesfordeling og intern sammenkobling. Efter slibning er overfladen glat og sart med god planhed. De er meget udbredt til fremstilling af halvlederwafere såsom silicium, safir og galliumarsenid.

Hvilke indikatorer skal man være opmærksom på, når man vælger egnede wafere?

Wafervalg har en betydelig indflydelse på udviklingen og fremstillingen af ​​halvlederenheder. Udvælgelse af wafer bør styres af kravene i specifikke anvendelsesscenarier og bør evalueres omhyggeligt ved hjælp af følgende afgørende metrikker.

Siliciumkomponenter til tørætsning

Tørætsningsudstyr bruger ingen våde kemikalier til ætsning. Det indfører primært et gasformigt ætsemiddel i kammeret gennem en øvre elektrode med små gennemgående huller. Det elektriske felt, der genereres af de øvre og nedre elektroder, ioniserer det gasformige ætsemiddel, som derefter reagerer med......

Forskellen mellem dummy, forskning, produktionskvalitet SiC-substrater