Plasmabehandlingsfokusring

Semicorex Plasma-behandlingsfokusring er specielt designet til at imødekomme de høje krav til plasmaætsningsbehandling i halvlederindustrien. Vores avancerede siliciumcarbidbelagte komponenter med høj renhed er bygget til at modstå ekstreme miljøer og er velegnede til brug i forskellige applikationer, herunder siliciumcarbidlag og epitaksiske halvledere.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

Vores plasmabehandlingsfokusring er yderst stabil til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring, hvilket gør dem til et ideelt valg til brug i plasmaætsningskamre (eller tørætsningskamre). Vores fokusringe eller kantringe er designet til at forbedre ætsningens ensartethed omkring waferens kant eller omkreds, og er konstrueret til at minimere kontaminering og uplanlagt vedligeholdelse.

Vores SiC Coating er en tæt, slidbestandig siliciumcarbidbelægning med høje korrosions- og varmebestandighedsegenskaber samt fremragende varmeledningsevne. Vi påfører SiC i tynde lag på grafitten ved hjælp af den kemiske dampaflejring (CVD) proces. Dette sikrer, at vores SiC Focus Ringe har overlegen kvalitet og holdbarhed, hvilket gør dem til et pålideligt valg til dine behov for plasmaætsning.

Kontakt os i dag for at lære mere om vores plasmabehandlingsfokusring.

Parametre for plasmabehandlingsfokusring

Hovedspecifikationer for CVD-SIC belægning
SiC-CVD egenskaber
Krystal struktur	FCC β-fase
Tæthed	g/cm³	3.21
Hårdhed	Vickers hårdhed	2500
Kornstørrelse	μm	2~10
Kemisk renhed	%	99.99995
Varmekapacitet	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bøjning, 1300 ℃)	430
Termisk udvidelse (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termisk ledningsevne	(W/mK)	300

Funktioner af plasmabehandling fokusring

- CVD siliciumcarbid belægninger for at forbedre levetiden.

- Termisk isolering lavet af højtydende renset stift kulstof.

- Carbon/Carbon komposit varmelegeme og plade. - Både grafitsubstratet og siliciumcarbidlaget har en høj varmeledningsevne og fremragende varmefordelingsegenskaber.

- Grafit- og SiC-belægning med høj renhed for pinhole-modstand og længere levetid