Poly-Si-ringe med slids

Poly-Si slidsringe er almindeligvis installeret i reaktionskammeret i avanceret halvlederætsningsudstyr. De fungerer synergistisk med siliciumdele, herunder siliciumfokus ringe, ydre siliciumringe og siliciumbrusehoveder. Disse dele kan skabe et stabilt og optimalt reaktionsmiljø for ætseprocessen, hvilket sikrer fremragendeætsningpræcision og proceskonsistens.

Funktioner af Semicorex poly-Si slidsede ringe

1. Semicorex poly-Si slidsringe er udstyret med flere jævnt fordelte slidser, der tjener som gaspassager, som tillader jævn udsugning af procesgasser efter reaktion.

2. Semicorex poly-Si slidsede ringe er i stand til at opnå fremragende plasmakontrol, hvilket giver pålidelig beskyttelse af reaktionskammeret i halvlederætsningsudstyr.

3. Semicorex poly-Si slidsede ringe kan hjælpe med at justere det elektriske felt og kammertryk og dermed forhindre ustabilitet i at påvirke ætseprocessens konsistens.

Materialevalg af høj standard

Semicorex poly-Si slidsede ringe er fremstillet af højkvalitets polykrystallinsk silicium med et renhedsniveau på over 99,9999%, hvilket giver dem overlegne egenskaber som følger.

1. Ultrahøj renhed og ekstremt lavt indhold af urenheder.

2. Enestående plasmakorrosionsbestandighed.

3. Gunstige elektriske egenskaber, med modstandsensartethed: RRG ≤ 5 %, lav opløsning. (<0,02), midterste res. (1–4) og høj opløsning. (70-90).

Produktionskapacitet og kvalitetskontrol

Udstyret med avanceret bearbejdningsudstyr og et erfarent teknisk team kontrollerer Semicorex strengt hver produktionsproces og tilbyder højkvalitets og velafstemte poly-Si slidsringe til vores værdsatte kunder. Derudover udfører Semicorex streng kontrol over dimensionsmåling, resistivitetstestning og visuel inspektion af de færdige poly-Si-slidsede ringe for at sikre, at de er fri for defekter såsom spåner, ridser, revner og pletter.