Robot sluteffektor

Semicorex er en førende uafhængigt ejet producent af siliciumcarbidbelagt grafit, præcisionsbearbejdet højrent grafit med fokus på siliciumcarbidbelagt grafit, siliciumcarbidkeramisk, MOCVP-områder inden for halvlederfremstilling. Vores Robot End Effector har en god prisfordel og dækker mange af de europæiske og amerikanske markeder. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

Robot End Effector er robottens hånd, der flytter halvlederwafere mellem positioner i waferbehandlingsudstyr og bærere. Robot End Effector skal være dimensionsmæssigt præcis og termisk stabil, samtidig med at den har en glat, slidstærk overflade for sikkert at håndtere wafere uden at beskadige enheder eller producere partikelforurening. Vores højrent siliciumcarbid (SiC) belægning Robot End Effector giver overlegen varmebestandighed, jævn termisk ensartethed for ensartet epi-lagtykkelse og modstandsdygtighed og holdbar kemisk resistens.

Parametre for Robot End Effector

Hovedspecifikationer for CVD-SIC belægning
SiC-CVD egenskaber
Krystal struktur	FCC β-fase
Tæthed	g/cm³	3.21
Hårdhed	Vickers hårdhed	2500
Kornstørrelse	μm	2~10
Kemisk renhed	%	99.99995
Varmekapacitet	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bøjning, 1300 ℃)	430
Termisk udvidelse (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termisk ledningsevne	(W/mK)	300