Som den professionelle fremstilling vil vi gerne give dig halvlederkomponenter. Semicorex er din partner til forbedring af halvlederbehandling. Vores siliciumcarbid-belægninger er tætte, høje temperatur- og kemikaliebestandige, som ofte bruges i hele cyklussen af halvlederfremstilling, herunder halvlederwafer- og waferbehandling og halvlederfremstilling.
SiC-belagte komponenter med høj renhed er afgørende for processer i halvlederen. Vores tilbud spænder fra grafitforbrugsvarer til krystalvoksende varme zoner (varmere, digelsusceptorer, isolering) til højpræcisionsgrafitkomponenter til waferbehandlingsudstyr, såsom siliciumcarbidbelagt grafitsusceptorer til Epitaxy eller MOCVD.
Fordele ved halvlederprocesser
Tyndfilmsaflejringsfaserne såsom epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsprocesser såsom ætsning eller ionimplantat skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring. Semicorex leverer højrent siliciumcarbid (SiC)-belagt grafitkonstruktion giver overlegen varmebestandighed og holdbar kemisk resistens, selv termisk ensartethed for ensartet epi-lags tykkelse og modstand.
Kammerlåg →
Kammerlåg, der bruges til krystalvækst og waferhåndtering, skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring.
Sluteffektor →
End effector er robottens hånd, som flytter halvlederwafere mellem positioner i waferbehandlingsudstyr og bærere.
Indløbsringe →
SiC-belagt gasindløbsring af MOCVD-udstyr Sammensatte vækst har høj varme- og korrosionsbestandighed, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flade keramiske vakuum wafer patroner er høj renhed SiC belagt ved brug i wafer håndteringsprocessen.
Semicorex SiC Heating Filament er en siliciumcarbidbelagt grafitvarmer designet til waferopvarmning i avanceret halvlederfremstilling. At vælge Semicorex betyder at vælge en betroet partner, der leverer materialer af høj renhed, præcisionstilpasning og langvarig ydeevne til de mest krævende termiske processer.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex siliciumcarbid patroner er specielt designet til fotolitografiudstyr og har flere fordele såsom høj præcision, ultralet vægt, høj stivhed, lav termisk udvidelseskoefficient og fremragende slidstyrke.
Læs mereSend forespørgselSemicorex SiC Furnace Tubes er siliciumcarbidrør af høj renhed fremstillet ved avanceret 3D-printteknologi, designet til højtemperatur fotovoltaiske processer. Semicorex leverer banebrydende SiC-løsninger med overlegen styrke, stabilitet og pålidelighed, som solcelleindustrien verden over har tillid til.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex SiC Paddles er fribærende arme af høj renhed af siliciumcarbid designet til wafertransport i højtemperaturoxidations- og diffusionsovne over 1000 ℃. At vælge Semicorex betyder at sikre enestående materialekvalitet, præcisionsteknik og langsigtet pålidelighed, der er tillid til førende halvlederfabrikater.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex SiC Focus Ring er en højrent siliciumcarbidringkomponent designet til at optimere plasmafordeling og waferprocesens ensartethed i halvlederfremstilling. At vælge Semicorex betyder at sikre ensartet kvalitet, avanceret materialeteknik og pålidelig ydeevne, som er betroet af førende halvlederfabrikanter over hele verden.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex Wafer Edge Grinding Chuck er en keramisk disk lavet af hvid aluminiumoxid med høj renhed, designet til waferkantslibning i halvlederfremstilling. Valg af Semicorex sikrer overlegen materialekvalitet, præcisionsteknik og pålidelig ydelse, der understøtter de mest krævende Wafer -behandlingsmiljøer.*
Læs mereSend forespørgsel