Kina Halvlederkomponenter producenter, leverandører, fabrik

Som den professionelle fremstilling vil vi gerne give dig halvlederkomponenter. Semicorex er din partner til forbedring af halvlederbehandling. Vores siliciumcarbid-belægninger er tætte, høje temperatur- og kemikaliebestandige, som ofte bruges i hele cyklussen af ​​halvlederfremstilling, herunder halvlederwafer- og waferbehandling og halvlederfremstilling.

SiC-belagte komponenter med høj renhed er afgørende for processer i halvlederen. Vores tilbud spænder fra grafitforbrugsvarer til krystalvoksende varme zoner (varmere, digelsusceptorer, isolering) til højpræcisionsgrafitkomponenter til waferbehandlingsudstyr, såsom siliciumcarbidbelagt grafitsusceptorer til Epitaxy eller MOCVD.

Fordele ved halvlederprocesser

Tyndfilmsaflejringsfaserne såsom epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsprocesser såsom ætsning eller ionimplantat skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring. Semicorex leverer højrent siliciumcarbid (SiC)-belagt grafitkonstruktion giver overlegen varmebestandighed og holdbar kemisk resistens, selv termisk ensartethed for ensartet epi-lags tykkelse og modstand.

Kammerlåg →
Kammerlåg, der bruges til krystalvækst og waferhåndtering, skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring.

Sluteffektor →
End effector er robottens hånd, som flytter halvlederwafere mellem positioner i waferbehandlingsudstyr og bærere.

Indløbsringe →
SiC-belagt gasindløbsring af MOCVD-udstyr Sammensatte vækst har høj varme- og korrosionsbestandighed, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.

Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring.

Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flade keramiske vakuum wafer patroner er høj renhed SiC belagt ved brug i wafer håndteringsprocessen.