Halvleder wafer båd

Semicorex leverer waferbåde, piedestaler og brugerdefinerede waferholdere til både lodrette/søjle og horisontale konfigurationer. Vi har været producent og leverandør af siliciumcarbidbelægningsfilm i mange år. Vores Semiconductor Wafer Boat har en god prisfordel og dækker de fleste af de europæiske og amerikanske markeder. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

Semicorex Semiconductor Wafer Boat er lavet af sintret siliciumcarbid keramik, som har god modstandsdygtighed over for korrosion og fremragende modstandsdygtighed over for høje temperaturer og termisk stød. Avanceret keramik leverer fremragende termisk modstand og plasmaholdbarhed, mens den afbøder partikler og forurenende stoffer til højkapacitets waferbærere.
Hos Semicorex fokuserer vi på at levere højkvalitets, omkostningseffektiv Semiconductor Wafer Boat, vi prioriterer kundetilfredshed og leverer omkostningseffektive løsninger. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner, der leverer produkter af høj kvalitet og enestående kundeservice.
Kontakt os i dag for at lære mere om vores Semiconductor Wafer Boat.

Parametre for Semiconductor Wafer Boat

Tekniske egenskaber
Indeks	Enhed	Værdi
Materiale navn		Reaktionssintret siliciumcarbid	Trykløs sintret siliciumcarbid	Omkrystalliseret siliciumcarbid
Sammensætning		RBSiC	SSiC	R-SiC
Bulkdensitet	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Bøjestyrke	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100 (1400°C)
Kompressionsstyrke	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Hårdhed	Knap	2700	2800	/
Breaking Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Termisk ledningsevne	W/m.k	95	120	23
Termisk udvidelseskoefficient	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Specifik varme	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Max temperatur i luft	℃	1200	1500	1600
Elastikmodul	Gpa	360	410	240

Forskellen mellem SSiC og RBSiC:

1. Sintringsprocessen er anderledes. RBSiC skal infiltrere fri Si i siliciumcarbid ved lav temperatur, SSiC dannes ved naturligt svind ved 2100 grader.

2. SSiC har glattere overflade, højere tæthed og højere styrke, for nogle tætninger med strengere overfladekrav vil SSiC være bedre.

3. Forskellig brugt tid under forskellig PH og temperatur, SSiC er længere end RBSiC

Funktioner af Semiconductor Wafer Boat

Overlegen varmebestandighed og termisk ensartethed
Fin SiC krystal belagt for en glat overflade
Høj holdbarhed mod kemisk rengøring
Materialet er designet således, at der ikke opstår revner og delaminering.