SIC BOAT HOLDERE

Semicorex Sic Boat-indehavere er præcisionsstøtteenheder designet til at holde skivbåde under processer med høj temperatur i fabrikation af halvleder. Disse indehavere er lavet af siliciumcarbid (SIC) med høj renhed og udviser fremragende termisk stabilitet, kemisk resistens og mekanisk stivhed, væsentlige træk, når de bruges i processer såsom diffusion, oxidation og epitaksial vækst.

I krævende halvlederfremstillingsmiljøer er det afgørende at beskytte skive -integritet og minimere forurening. SIC -bådindehavere tilbyder en solid, inert platform, der kan tolerere ekstreme ovnmiljøer, mens de opretholder integritet uden deformation og uden frigivelse af forurenende stoffer. Deres kemiske inertitet tillader deres anvendelse med reaktive procesgasser, mens deres termiske transmission fremmer endda opvarmning af overfladen af skiverne til ensartet behandling.

Hver SIC -bådholder er fremstillet med en høj tolerance for dimensionel nøjagtighed, hvilket gør dem lette at rumme og tilpasse sig enhver wafer -bådtype og automatiserede belastningskonfigurationer. Deres stive struktur skaber ikke kun stærk, stabil og tilstrækkelig støtte til skivebåde, men reducerer også de tilfældige mikro-vibrationer eller positionsskift kan have på skiverne. Derudover har siliciumcarbid fremragende slidstyrke og kan håndtere gentagen varmecykling for at give en lang levetid, hvilket resulterer i lidt nedetid og udskiftning af hætteglas.

De unikke egenskaber ved siliciumcarbid kan give ekstra fordele med hensyn til procesrenshed. I modsætning til metaller eller keramiske materialer med lavere kvalitet flager ikke SIC, outgas eller kemisk nedbrydes under ekstreme temperaturer eller i plasma. Dette gør SIC -bådindehavere til et godt værktøj for producenter, der prøver at begrænse renrumskontaminering til avancerede halvlederknudepunkter, der kræver højt udbytte og renhed.

Semicorex Sic -bådholdere produceres ved hjælp af unikke støbnings- og sintringsprocesser, der sikrer ensartet mikrostruktur og mekanisk ydeevne mellem batches og på tværs af flere bådholdere. For eksempel kan indehaverform eller slotkonfiguration tilpasses såvel som typen af montering.

Uanset om det bruges i lodrette ovne eller horisontale reaktorer, vil tilpasning af Semicorex Sic-bådholdere opfylde tolerancerne for næste generations halvledermangel. Hvis du vælger Semicorex -produkter, vil du vide, at du har arbejdet med en leverandør, der er kyndig, dedikeret til materiel ekspertise og stræber efter kontinuerligt at innovere keramiske komponenter med hensyn til pålidelighed og levering.